清浄化技術としてのフィルタ、エアロゾル粒子の分離・捕集技術と清浄度評価

清浄化空間を創造するクリーンルームは様々な産業分野に普及しており、各種製品を作る際の基盤環境になっている。また、昨今のPM2.5問題等で空気清浄機が室内空間において使用されている。 　本講演では、主に工業用クリーンルームを対象として、クリーンルームの基礎や汚染物質の種類、その挙動についてまず述べ、空気清浄機等にも採用されている清浄化技術で基本となるエアフィルタおよびケミカルフィルタの基礎について説明する。 　最後に、清浄度評価法と関連するISO規格および国内規格を説明する。

1. クリーンルームの基礎と汚染メカニズム
   1. クリーンルームの方式
      • 気流方式
      • ミニエンバイロメント
   2. 汚染物質の種類とその挙動
      • 粒子状汚染物質
      • ガス状汚染物質
      • 沈着・吸着挙動
      • ガスー粒子相互作用
2. 清浄化技術としてのエアフィルタのおよびケミカルフィルタの基礎知識
   1. エアフィルタの種類とろ過理論
      • HEPA・ULPAフィルター
      • ろ過理論
      • 性能評価
   2. ケミカルフィルタの種類と除去機構
      • 吸着式
      • イオン交換繊維
      • 吸着挙動
3. クリーンルーム関連の清浄度評価法と関連規格
   1. 関連規格の動向
      • ISO/TC209
      • TC142
      • TC229
      • JIS B9920
      • JACA指針
   2. 空間清浄度評価法と関連規格
      • ISO14644-1
      • ISO14644-8
      • JACA No.35
   3. 表面清浄度評価法と関連規格
      • ISO14644-9,10
      • JACA No.42,43
4. 空気清浄機の方式と関連規格
   • 空気清浄機の構成
   • 現状の性能評価規格の問題点

• 質疑応答・名刺交換