大気圧プラズマの基礎と装置開発および材料表面処理技術の進展

大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず,また高密度な活性種を生成できるため,産業応用には大変多くのメリットがあります。このため,ここ数年,材料表面の親水化処理,接着性の向上,クリーニング等の分野で急速に利用され始めています。学術的にも,IEEEの国際会議では2005年には1%以下だった大気圧プラズマの発表件数が,2011年には25%以上までに激増しています。しかし,大気圧プラズマの発生や利用法についてはブラックボックスな部分が多いため,産業応用へのしきいが高いのも事実です。 　そこで本セミナーでは,大気圧プラズマの基礎をわかりやすく解説するとともに,最新の大気圧プラズマ生成法と表面処理,殺菌,環境浄化等への最先端の応用例をご紹介します。 　さらに,講師の最新の研究テーマである,ダメージフリープラズマ,マルチガスプラズマ,温度制御プラズマおよびこれらを用いた高速表面処理と医療応用にもスポットをあてて研究成果をご紹介します。

1. 大気圧プラズマ
   1. 教科書に書かれているプラズマ
   2. なぜ大気圧プラズマ?
   3. 大気圧プラズマの生成法
2. プラズマの基礎特性
   1. プラズマ中では何が起こっているか
   2. プラズマの温度
   3. プラズマの密度
   4. プラズマの計測
3. 一般的なプラズマの応用例
   1. 新材料・プロセシング
   2. 環境浄化
   3. 殺菌・医療
4. 新しい大気圧高温プラズマ
   1. 大気圧高純度マルチガスプラズマ
   2. 地球温暖化ガスの分解
   3. 半導体プロセシング
5. 新しい大気圧低温プラズマ
   1. さわれるプラズマ
   2. マルチガスプラズマジェット
   3. リニア型ダメージフリープラズマ
   4. マルチガスコロナ
   5. 温度制御プラズマ
6. 大気圧低温プラズマの応用
   1. 高速親水化処理・クリーニング
   2. 金属酸化膜の超高速還元
   3. 表面付着物分析
   4. プラズマ医療
7. 大気圧プラズマの近未来展望
• 質疑応答