本セミナーでは、半導体、液晶製造等のクリーンルームにおける静電気障害について説明し、その静電気対策の一つとして、イオナイザーの除電原理、種類と特徴、具体的な選定方法と使用上の注意点、除電性能評価方法についてわかりやすく解説いたします。
半導体、液晶製造等のクリーンルームにおいて、 静電気帯電による塵埃の吸着や静電気放電による電気回路パターンの損傷等の静電気障害が製品不良を引起し、大きな問題になっている。 本講演では、理解を深めるため、まず静電気の基礎について説明する。次に半導体、液晶製造等のクリーンルームにおける静電気障害について説明し、その静電気対策の一つとして、イオナイザーについて、イオナイザーの除電原理、イオナイザーの種類と特徴、イオナイザーの具体的な選定方法と使用上の注意点、イオナイザーの除電性能評価方法を説明する。更に、イオナイザーをクリーンルームで使用する上での問題点と最新のクリーンルーム用イオナイザーについて述べる。静電気の基礎から最新のクリーンルーム用イオナイザーまで平易に説明する。 イオナイザーは、用途によっていろいろなタイプのものが多数市販されている。除電対象に合わせて適切なイオナイザーを選定することは、除電効果を決める重要なポイントである。それ故、本講演では、聴講者がイオナイザーを使用する際に、イオナイザーの適切な選定方法や使用方法が分かるように配慮して説明する。