本セミナーでは、電解水の生成および基本特性から精密洗浄,表面処理への応用まで最新情報をふまえて解説いたします。
半導体デバイスをはじめとする精密機器の表面洗浄および処理に化学薬液が多量に使用されており,環境,人体に悪影響を与えると同様に,製造コスト高ももたらしている。 電解水は化学薬液と異なり,人体および環境に悪影響を与えず,使用後の廃棄処理を必要としないため,環境負荷軽減および製造コスト削減に期待できる。 電解還元水はアルカリ性で,溶存水素濃度が高く,水素ナノバブルも存在しているため,精密機器表面の脱脂洗浄,パーティクル除去洗浄などに有効である。電解酸化水は酸性で,溶存酸素濃度および溶存塩素濃度が高く,無酸素銅材,純ニッケル材などの表面に対するエッチング作用が化学薬液より強い。金属イオン残渣および酸化皮膜の除去に応用できる。