DLC (ダイヤモンドライクカーボン) 膜の成膜技術、分類および応用展開

まず、DLC膜とは何か、どんな成膜方法があるのか、どんな応用があるのか、を全般的に説明します。その後、近年応用事例が増えてきている水素フリー・スーパーハードDLC膜の成膜方法・技術および応用について紹介します。

1. ダイヤモンドライクカーボン膜の作り方、分類、特徴
   1. 表面処理
   2. DLC膜の各種成膜方法
   3. DLC膜の分類
   4. DLC膜の特徴
2. フィルタードアーク蒸着法
   1. 真空アーク蒸着法
   2. フィルタードアーク蒸着法
   3. T字状フィルタードアーク蒸着装置
   4. スーパーハードDLCの作り方
3. スーパーハードDLCの応用
   1. スーパーハードDLCの特性
   2. 工具への応用
   3. 金型への応用
   4. 摺動部材への応用
   5. ゴムへの応用
   6. その他

• 質疑応答・名刺交換