DLC膜の進化高機能膜の設計と活用ノウハウ

DLC・高機能膜ICFの基礎から応用、さらに関連する国際工業規格の最新動向までを詳しく解説する。品質管理や開発において評価技術も重要であり、機械的物性評価と光学測定を中心に詳しく説明を実施する。 　特に、DLCから進化した高機能膜ICFとその設計・活用ノウハウやそれを応用した低コスト化のためのロールtoロール成膜装置やインライン装置技術まで最新の製造技術も紹介する。

1. DLC膜
   1. DLCの基礎
   2. DLCの成膜装置
   3. DLCの応用用途
      • レンズ
      • 精密金型
      • 加工具
      • しゅう動部品
      • 他
2. 高機能膜ICFの膜設計と活用法
   1. 各種ICFと用途
      • 光学特性
      • 導電性
      • 絶縁性
      • 撥水性
      • 他
   2. 医療技術への応用
3. 最新の低温高硬度水素フリーICF成膜技術
   1. 新開発の放電方法
   2. 低温と高硬度の両立
   3. 水素フリーICFの各種機能
4. 低コスト化のための成膜技術
   1. Roll to Roll 巻き取り装置
   2. 各種用途
      • 機能性フィルム
      • エレクトロニクス材料
      • 医療用包装材
      • 他
   3. インライン型装置
   4. 装置の大型化
5. DLC・ICFの評価技術
   1. 機械的評価技術
   2. 分光エリプソメトリー
   3. 低コストな品質管理方法
6. 最新硬質薄膜の標準化動向
   1. 国際標準ISO規格
   2. 最新の動向
7. まとめ

• 質疑応答・名刺交換