ハイバリア蒸着フィルムの成膜、コーティング技術

ディスプレイ、電池、医療、食品用途など、ハイバリアフィルムへのニーズは依然として高く、各社で技術開発も精力的に行われています。しかし、バリアコーティングを施しても必ずしも設計通りのバリア性を得られない場合が多く、開発現場では苦戦されている状況もあります。 　本講演では、ガスバリアの原理と実際の製造プロセスでバリア性を支配する要因とについて解説することによって、問題解決のヒントを提供できれば幸いです。

1. ポーリマーフィルムのガス透過性
   1. マクロモデル
   2. ミクロモデル
   3. パーマコール値
2. フィラー添加効果
   1. 粘土 (ナノクレイ) とは
   2. 粘土添加効果
3. コーティングによる透明バリア膜の付与
   1. 反応性蒸着法
   2. プラズマCVD法
   3. 反応性スパッタ法
   4. 多層構造
   5. 延伸によるクラックの影響
4. ロール・ツー・ロール法の課題
   1. バリア性を左右する要因
      • クラック
      • ピンホール
      • アウトガス
   2. 熱負け
   3. コスト

• 質疑応答・名刺交換