アルミニウムの陽極 (アノード) 酸化皮膜は、古くから腐食耐性、絶縁性、誘電特性が活用されてきたが、近年そのナノポーラス構造は種々のナノマテリアル作製のための出発構造 (テンプレート) としても活用されている。また、マグネシウムやチタン、タンタル、亜鉛など種々の金属のアノード酸化皮膜にも新たな特性を期待して注目が集まっている。
本講座では、バリヤー型およびポーラス型陽極酸化皮膜の基礎的な生成機構や微細構造の制御とその解析・評価など、酸化皮膜の構造と機能に関する基礎と応用に関して電気化学的評価法とTEM、SEM、XPS、GDOESなどによる構造解析法を初めとして、最新の研究情報までを解説する。アノード酸化を用いた新たな機能材料の開発に役立つ基盤となる技術と知見を身に着けて頂くことを目的としている。
- アノード酸化皮膜の成長機構の基礎
- 前処理による素地表面形態への影響と、鏡面を得るための電解研磨法
- 電解条件によるセル径および孔径の制御
- 電解液による皮膜の組成 (アニオン分布) と構造の変化
- 封孔処理とは?
- ポアフィリング (再アノード酸化) 法による多孔質構造とバリヤー層の定量評価
- 酸化皮膜の欠陥および合金組成の影響
- 多孔質皮膜とバリヤー皮膜の複合化
- アノード酸化皮膜表面からのガス放出特性制御
- 枝分かれ構造皮膜の作製
- ポーラスアルミナの自己規則化
- 微粒子集合体を利用したインバースオパール構造を持つ酸化皮膜の作製
- スパッタアルミニウムのアノード酸化を利用したシリコン基板のパターニング
- マグネシウム合金のアノード酸化皮膜の生成機構
- チタンのアノード酸化ポーラス皮膜
- ニオブのアノード酸化による誘電体皮膜とポーラス皮膜の作製