プラズマによる表面処理技術の基礎と応用

近年、各種材料表面の高機能化の社会的ニーズの拡大に伴い、従来広く用いられてきた化学薬品を用いたウエットプロセスから環境に優しいドライプロセス技術の開発が求められている。 　本講座では、最近注目されているドライプラズマプロセスについて、低圧から大気圧までの各種プラズマの生成方法から、それらのプラズマを用いた各種基材の表面処理技術の基礎と応用について、分かりやすく解説する。また、講義では単なる一方向的な講義ではなく、受講者からの質問に対して、その都度答える双方向の講義としたい。

1. プラズマの生成と制御
   1. プラズマの基本的性質
   2. 気体の絶縁破壊
   3. プラズマ生成技術 　～低圧力から大気圧まで～
   4. プラズマ計測技術
2. プラズマを用いた表面処理技術
   1. エッチング
   2. アッシング
   3. プラズマCVD
      • ダイヤモンドライクカーボン薄膜
      • カーボンナノチューブ
   4. プラズマ表面改質
      • 官能基修飾 (親水性、撥水性など)
      • 密着性
      • バイオ高分子の固定化
   5. プラズマ重合
3. 低圧力マイクロ波放電を用いた表面プロセス
   1. マイクロ波プラズマについて
   2. 表面波プラズマと体積波プラズマについて
   3. マイクロ波プラズマ実験装置
   4. 表面波プラズマを用いた表面プロセスの例
   5. 体積波プラズマを用いた表面プロセスの例
4. 低圧力RFプラズマを用いた表面プロセス
   1. RF放電プラズマについて
   2. RF放電プラズマ装置
      • 容量結合型プラズマ装置
      • 誘導結合型プラズマ装置
   3. RF放電プラズマを用いた表面プロセスの例
5. プラズマプロセスを用いた各種微粒子の作製
   1. 微粒子の産業応用について
   2. 直流アーク放電による炭素被覆磁性体微粒子の作製
   3. レーザーアブレーションによる酸化亜鉛微粒子の作製
   4. 低圧放電プラズマを用いた微粒子表面の化学修飾
6. 大気圧プラズマを用いた表面プロセス
   1. 大気圧放電プラズマについて
   2. 誘電体バリア放電
   3. 大気圧プラズマジェット
   4. 誘電体バリア放電を用いた表面プロセスの例
   5. 大気圧プラズマジェットを用いた表面プロセスの例
7. 液相中での大気圧放電プラズマによるプロセス
   1. バブルを利用した液相中大気圧プラズマについて
   2. 液中放電プラズマ実験装置
   3. メチレンブルーの分解実験の例
8. まとめと今後の課題

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