生産・製造工程における粒子発生および付着のメカニズムと汚染防止・除塵技術

電子デバイス、高機能フィルム、プラスティック製品製造工程、各種塗装・コーティング工程、食品梱包工程においては、粒子汚染は製品の歩留まりおよび信頼性・品質低下の大きな原因となっている。 　粒子汚染経路としては、気中からの直接付着と接触面蓄積粒子の転写付着に分類されるが、転写付着の粒子の多くも気中由来の粒子が蓄積したものである。 　これら粒子汚染を防止するためには、粒子の発生および付着メカニズムを理解した上で複数の防止対策を立案し、個々の対策の優先順位を考慮して一つ一つ実施していくことが重要である。 　個々の対策の効果を検証することで、技術・ノウハウが蓄積され、より信頼性の高い対策が実現出来る。 　本講では、粒子発生源および粒子付着メカニズムの解説によりその実態を理解した上で、具体的な粒子汚染防止技術と実施手段について詳しく紹介する。

1. 製造環境における粒子発生源と粒子の組成
   1. 屋外由来粒子
      • イオン性粒子物質の種類と発生源、季節変動
   2. 室内発生粒子
      • 作業者、各摺動機器からの発塵
   3. ガス成分由来粒子
      • 有機性ガス由来のイオナイザ放電による粒子発生
      • 酸および塩基性ガスの反応による塩生成
2. 粒子付着作用力と粒径依存性
   1. 5つの粒子付着作用力と粒径依存性
   2. 微粒子付着最大の作用力、静電気力の影響
3. 粒子汚染防止技術
   1. 粒子汚染防止「4原則+α」
   2. 4原則による管理
      • 塵埃を持ち込まない技術/外調機での除塵、海塩粒子対策
      • 塵埃を発生させない技術/作業者防塵対策、潤滑油最適化
      • 塵埃を蓄積させない技術/気流制御、帯電防止
      • 塵埃を排除する技術/気流制御、局所フィルトレーション
   3. 対策効果の非常に大きい「α」技術
      • 「α」対策による粒子汚染改善効果評価例
      • 「α」対策技術詳細とノウハウ
4. トピックス
   • 実用的な気流、粒子可視化技術の紹介
   • 簡易型および緊急用の除塵技術の紹介
   • 高性能な除電装置の紹介

• 質疑応答・名刺交換