本セミナーでは、Ga2O3の結晶多形の特徴や形成技術、そのデバイス応用に向けた研究動向、ルチル型GeO2の結晶多形制御技術やそのデバイス動作などについて説明いたします。
また、論文や特許調査から酸化ガリウムやルチル型GeO2に取り組んでいる研究機関などについても紹介いたします。
形成技術については講演者が開発したミストCVD法を中心に、MBE法やMOCVD法などの手法でのGa2O3とルチル型GeO2についての例を紹介いたします。
日時
- 2026年11月26日 13時00分〜 2026年11月26日 16時30分
開催予定
プログラム
本講演では、低コストの成膜方法として期待されているミストCVD法と、現在次々世代パワー半導体として注目されているGa2O3とルチル型GeO2の結晶成長について説明します。Ga2O3やGeO2は複数の結晶多形を持ち、適切なデバイス動作にはこれらの結晶多形を制御する必要があります。 本セミナーではGa2O3の結晶多形の特徴や形成技術、そのデバイス応用に向けた研究動向、ルチル型GeO2の結晶多形制御技術やそのデバイス動作などについて説明します。また、論文や特許調査から酸化ガリウムやルチル型GeO2に取り組んでいる研究機関などについても紹介します。形成技術については講演者が開発したミストCVD法を中心に、MBE法やMOCVD法などの手法でのGa2O3とルチル型GeO2についての例を紹介します。
- 酸化ガリウムの結晶多形
- 結晶多形の結晶構造
- 結晶多形による特徴
- 結晶多形による研究開発動向
- 酸化ゲルマニウム
- 結晶多形の結晶構造
- ルチル型酸化ゲルマニウムの特徴
- 研究開発動向
- ミストCVD法
- ミストCVD法の歴史
- ミストCVD法の原理
- 酸化ガリウムの作製技術
- 成長方法全般
- 結晶多形の制御方法
- ミストCVD法による酸化ガリウムの作製技術
- α型酸化ガリウムの結晶成長
- β型酸化ガリウムの作製技術
- κ、γ、δ型酸化ガリウムの作製技術
- ミストCVD法によるルチル型酸化ゲルマニウムの作製技術
- ミストCVD法でのルチル型酸化ゲルマニウムの成長
- ルチル型酸化ゲルマニウムの課題
- パワーデバイスへの応用と今後の動向
- 酸化ガリウムのデバイス例
- ルチル型酸化ゲルマニウムのデバイス例
- 質疑応答
受講料
- 1名様: 34,400円(税別) / 37,840円(税込)
- 複数名: 22,500円(税別) / 24,750円(税込)
複数名受講割引
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 34,400円(税別) / 37,840円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
- 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 請求書は、代表者にご送付いたします。
- 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。 - 他の割引は併用できません。
- サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。
アカデミー割引
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
- 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
- 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
- お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。
ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー
ライブ配信またはアーカイブ配信セミナーのいずれかをご選択いただけます。
ライブ配信セミナーをご希望の場合
- 「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
- お申し込み前に、 Zoomのシステム要件 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
- 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
- Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
アーカイブ配信セミナーをご希望の場合
- 「ビデオグ」を使ったアーカイブ配信セミナーとなります。
- 当日のセミナーを、後日にお手元のPCなどからご視聴ができます。
- お申し込み前に、 視聴環境 をご確認いただき、 視聴テスト にて動作確認をお願いいたします。
- 別途、ID,パスワードをメールにてご連絡申し上げます。
- 視聴期間は2026年12月14日〜24日を予定しております。
ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。 - セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
- ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
- ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
- 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。