ガラスコア基板の不具合分析・品質評価と次世代半導体パッケージへの展開

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第1部 ガラスコアサブストレートの課題、最近の動向

(2026年12月3日 10:00〜12:00)

 半導体の微細化限界を突破する鍵として世界的に注目を集めるガラスコアサブストレートについて、課題や最近の動向について解説する。

  1. ガラスコアサブストレートの基礎
    1. 採用のモチベーション
    2. アプリケーション、市場性
    3. プロセス
  2. 克服すべき課題、そして量産への壁
    1. メタライゼーション
    2. マイクロクラック
    3. 検査
    4. 品質
    5. 信頼性
  3. ガラスコアサブストレートの動向
    1. サプライチェーン
    2. 最近の動向
    • 質疑応答

第2部 ガラスにおける熱膨張係数・反りや強度の評価および半導体パッケージング用基板への応用

(2026年12月3日 13:00〜14:30)

 ガラスは、剛性や耐熱性、絶縁性などの利点により、Fan-outウエハ/パネルレベルパッケージングやガラスコアなど、半導体パッケージングプロセスへの活用が期待されている。一方、パッケージングに不可避なガラスとその他の材料間の接合において、熱膨張係数のミスマッチがあると、反りや破壊等の不具合の要因となる。  本講演では、これらの不具合の低減のキーとなるガラスの熱膨張係数・反りや強度の評価法について解説する。

  1. ガラスの基礎
    1. ガラスとは・ガラスの利点
    2. 典型的なガラスの種類
    3. 主なガラスの物性
  2. 半導体パッケージングプロセスとガラス
    1. パッケージングプロセスに用いられるガラス
    2. パッケージ基板として用いられるガラス
  3. ガラスの熱膨張係数
    1. ガラスの熱膨張の起源
    2. 様々な熱膨張係数のガラス
    3. 熱膨張係数を制御する因子1 組成
    4. 熱膨張係数を成業する因子2 熱履歴
  4. 半導体パッケージングにおけるガラス熱膨張係数の重要性
    1. 反りの防止
    2. 破壊の抑制
    • 質疑応答

第3部 ガラス (コア) 基板の非破壊解析とその装置について

(2026年12月3日 14:45〜15:30)

 ガラスコア基板のTGVの品質評価におけるX線斜めCTの有効性について解説する。

  1. ガラス貫通電極内部の非破壊解析による品質管理
    1. 大型基板に対するX線CTの課題
    2. 三次元斜めCTの基本原理及び有効性
    3. 三次元X線CTシステム XVA-160□520 の特徴
  2. 今後の展望
    • 質疑応答

受講料

  • 1名様: 55,000円(税別) / 60,500円(税込)
  • 複数名: 50,000円(税別) / 55,000円(税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 50,000円(税別) / 55,000円(税込) で受講いただけます。
  • 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 55,000円(税別) / 60,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)
    • 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 200,000円(税別) / 220,000円(税込)
    • 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 230,000円(税別) / 253,000円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

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