本セミナーでは、リソグラフィ、レジストの基礎からEUVレジストの特性、課題と対策までを解説いたします。
日時
- 2026年11月19日 10時30分〜 2026年11月19日 16時30分
開催予定
プログラム
メモリー、グラフィックスプロセッシングユニット (GPU) 等のデバイスの高集積化の要求は、AIの進化等に伴い益々大きくなっている。微細加工を支えるリソグラフィ技術は現在先端の量産工程でダブル/マルチパターニング、EUVが用いられている。レジスト材料はこのようなリソグラフィ技術の変革に対応して進展し続けている。 本講演では、リソグラフィの基礎を解説した後、デバイスの微細化を支えるレジストの基礎をPFASフリーレジスト、EUVレジスト (化学増幅型EUVレジスト、EUVネガレジストプロセス、EUVメタルレジスト、EUVメタルドライレジストプロセス) の詳細を含めて述べる。レジスト、先端リソグラフィのトラブル対策をその要求特性、課題をふまえて解説する。EUVレジストの課題と対策についても述べる。最新のロードマップを解説し、今後のレジストの技術展望、市場動向についてまとめる。
- リソグラフィの基礎
- 露光
- 照明方法
- 輪帯照明
- マスク
- 位相シフトマスク
- 光近接効果補正 (OPC)
- レジストの基礎
- 溶解阻害型レジスト
- g線レジスト
- i線レジスト
- 化学増幅型レジスト
- KrFレジスト
- ArFレジスト
- ArF液浸レジスト/トップコート
- PFASフリーレジスト
- EUVレジスト
- 化学増幅型EUVレジスト
- EUVネガレジストプロセス
- EUVメタルレジスト
- EUVメタルドライレジストプロセス
- 溶解阻害型レジスト
- レジスト、先端リソグラフィのトラブル対策
- レジストパターン形成不良への対応
- パターン倒れ
- 表面張力低減プロセス
- ハードマスクプロセス
- パターン密着性不良
- パターン形状不良
- 上層反射防止プロセス
- 下層反射防止プロセス
- パターン均一性不良
- ウエハー平坦化プロセス
- パターン倒れ
- 化学増幅型レジストのトラブル対策
- レジスト材料の安定性
- パターン形成時の基板からの影響
- パターン形成時の大気からの影響
- ダブルパターニング、マルチパターニングの課題と対策
- リソーエッチ (LE) プロセス
- セルフアラインド (SA) プロセス
- EUVレジストの課題と対策
- 感度/解像度/ラフネスのトレードオフ
- ランダム欠陥 (Stochastic Effects)
- 自己組織化 (DSA) リソグラフィの課題と対策
- グラフォエピタキシー
- ケミカルエピタキシー
- ナノインプリントリソグラフィの課題と対策
- 加圧方式ナノインプリントリソグラフィ
- 光硬化方式ナノインプリントリソグラフィ
- レジストパターン形成不良への対応
- 最新のロードマップとレジストの技術展望、市場動向
受講料
- 1名様: 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 複数名: 25,000円(税別) / 27,500円(税込)
案内割引・複数名同時申込割引について
R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
- R&D支援センターからの案内を希望する方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
- R&D支援センターからの案内を希望しない方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)
ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー
- 「Zoom」を使ったライブ配信またはアーカイブ配信セミナーのいずれかをご選択いただけます。
- お申し込み前に、 Zoomのシステム要件 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
- 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
ライブ配信セミナーをご希望の場合
- セミナー資料は、郵送にて前日までにお送りいたします。
- 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
印刷物は後日お手元に届くことになります。 - Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
アーカイブ配信セミナーをご希望の場合
- 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
- 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
- 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
- 視聴期間は2026年11月24日〜30日を予定しております。
ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。 - セミナー資料は別途、送付いたします。