クリーンルームにおけるゴミ・異物対策および静電気対策の基礎と実践

クリーンルームは管理無ければ只の箱、と言われます。その管理の基本『クリーン化の四原則』を明確にし、対象となるエリア『加工点』『保管場所』『搬送系』の3点を対象に、清掃を含めて、いかに効率的にかつ効果的な管理を行うのかを、いくつかあるクリーンルームの形態毎に、不良につながる可能性状態を動画や写真でご紹介し、効果的な管理につながる手法を明らかにして行きます。

• 「クリーンルーム環境で製造をしていても、異物不良が発生して困っています。」
• 「クリーン度の数値は規格内にあり問題ないのに、異物不良が多発して悩んでいます。」

　こうした声を多く聞く様になりました。これは、自工程で不良につながる粒子径や様態を確実に掴んでいないこと。また、パーティクルカウンターに頼った微粒子管理を優先していることが、要因として考えられます。5〜10〜100μmと言った『粗大粒子』にも着目し、ゴミ・異物の見える化手法やパーティクルカウンターでは、計測し難い粒径や様態の検出手法、数値管理方法を述べて参ります。 　また、ゴミ・異物管理〜対策において避けて通れない『静電気』にも目を向けて管理手法・対策手法を明らかにして参ります。 　現場に戻り即役立つ情報・技術・管理手法等を分かりやすく解説致します。ご質問や疑問点があるときは、質疑応答時間若しくは 終了後メールにてお寄せください。多くのご質問をお待ちしております。一緒に考えて解決して行きましょう。

1. クリーンルームにおけるゴミ・異物対策の基礎知識
   1. なぜクリーン化が求められるのでしょうか。
   2. クリーンルームの導入効果とは
   3. 加速するクリーン化の要求
   4. ものづくり環境はどうあるべきなのか。
      • 良い清浄環境とは?
      • 良い製造環境とは?
   5. クリーン化関連技術マップの解説
   6. クリーンルームの目的とは
   7. クリーンルームの活用事例
   8. クリーンルームの分類
   9. クリーンルームのはじまり〜歴史
   10. クリーンルームの定義
   11. クリーンルーム環境の留意点
   12. クリーンルームの方式と特徴
   13. 2つの清浄化メカニズム
   14. HEPA/ULPAフィルターとは
   15. エアーフィルターの捕集原理と捕集効率
   16. なぜクリーン化四原則なのか
   17. クリーン度の表し方/クラス比較
   18. クリーンルームの日常管理 等
2. 生産環境における浮遊塵埃と落下付着塵埃の管理
   1. なぜ『浮遊塵埃と落下付着塵埃の管理』と言う捉え方が必要なのか
   2. ゴミ・異物不良はなぜ発生するのか?
   3. ゴミ・異物の伝播経路を考える
   4. 身近な発塵源についての情報共有と認識
   5. いろいろな資材からの発塵実態
   6. 落下塵埃:粗大粒子と浮遊塵埃の挙動 (振る舞い) の違い
   7. 自工程で製品不良となる異物のサイズはご存知でしょうか。
   8. 粗大粒子要因の不良実態と認識
   9. 気中パーティクルカウンターの特性
   10. ゴミ・異物の大きさとその挙動
   11. 室内清浄度とゴミ・異物不良には相関関係が無い!?
   12. ゴミ・異物の見える化の必要性と手法
   13. 見える化から定量化&数値管理手法
   14. ISO14644-9の解説と運用
   15. ISO14644-17の解説と運用
   16. 落下塵カウンターの概要と活用方法 等
3. クリーン化・異物対策における静電気対策の基礎と実践
   1. なぜクリーン化において、なぜ静電気に注力しなければいけないのか?
   2. 電気とは… (動電気/静電気)
   3. 静電気の基本 (静電気の発生と静電気要因不良)
   4. 静電気対策方法:考え方
   5. イオナイザーの種類と特性:選択ミスは不良につながる。
   6. 除電のメカニズム
   7. イオナイザー使用時の注意点
   8. 作業環境 (湿度) と静電気の発生
   9. 静電気対策は、費用が掛かる?
   10. 静電気対策事例:良い事例/悪い事例:対策方法事例紹介
   11. 後戻りしない対策のあり方 :まとめ
• 質疑応答