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半導体洗浄における不良発生要因とパーティクル除去の基礎・実践

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本セミナーでは、半導体洗浄について取り上げ、パーティクル付着のメカニズムと除去技術を解説いたします。
高圧スプレー、二流体スプレー、メガソニック・超音波、ブラシ洗浄の特徴と使い分け、洗浄条件を設定するときの考え方について解説いたします。

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プログラム

半導体デバイスの微細化・高集積化に伴い、微小パーティクルや洗浄工程で発生するダメージが歩留まりに大きく影響するようになっています。実際の現場では、「パーティクルが取れない」「除去率がばらつく」「洗浄力を上げるとダメージが発生する」といった問題が生じます。 　本講座では、パーティクルがなぜ付着し、どのような力によって除去されるのかを基礎からわかりやすく解説します。また、高圧スプレー、二流体スプレー、メガソニック・超音波、ブラシ洗浄など代表的な物理洗浄方法の特徴と使い分け、再付着や静電気 (ESD) への対策についても取り上げます。 　洗浄方式の紹介だけでなく、現場で不良が発生した際に「何を確認し、どの条件を見直すべきか」を考えるための実践的な判断軸を身につけていただくことを目的とします。

  1. 半導体製造における洗浄工程の役割
    1. なぜ半導体製造では洗浄が重要なのか
    2. 微細化・多層化によって変わる洗浄の難しさ
    3. 洗浄工程で問題となる代表的な不良
  2. 洗浄不良はなぜ発生するのか
    1. パーティクル、金属、有機物など代表的な汚染
    2. 「汚れが取れない」場合と「洗浄中に汚れる」場合
    3. 洗浄後の再付着はなぜ起こるのか
  3. パーティクルはなぜウェハに付着するのか
    1. 微小パーティクルに働く付着力をやさしく理解する
    2. パーティクルサイズと「取れやすさ・取れにくさ」の関係
  4. パーティクルを除去するための基本的な考え方
    1. 「付着する力」と「取り除く力」のバランス
    2. 液体の流れ・衝突・剪断力を利用したパーティクル除去
    3. 洗浄力を強くすればパーティクルは本当に取れるのか
    4. パーティクル除去率とパターンダメージのトレードオフ
  5. 代表的な物理洗浄方法とその使い分け
    1. 高圧スプレー洗浄の原理・特徴と条件設定
    2. 二流体スプレー洗浄の原理・特徴と条件設定
    3. メガソニック・超音波洗浄の原理と周波数の考え方
    4. ブラシ洗浄の特徴とPost-CMP洗浄への適用
    5. 洗浄力・ダメージ・再付着から見た各洗浄方式の比較
  6. 洗浄工程で発生する静電気とESD
    1. 純水を使った洗浄でもなぜ静電気が発生するのか
    2. スプレー、液滴衝突、ウェハ回転・乾燥時に発生する帯電
    3. 洗浄力を高めることで増加するESD・パターンダメージリスク
    4. CO2水などの機能水を用いた帯電防止の考え方
  7. ウェット洗浄における最新情報
  8. まとめ
    • 質疑応答

受講料

  • 1名様: 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
  • 複数名: 40,000円(税別) / 44,000円(税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 50,000円(税別) / 55,000円(税込) で受講いただけます。
  • 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 55,000円(税別) / 60,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)
    • 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 200,000円(税別) / 220,000円(税込)
    • 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 230,000円(税別) / 253,000円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

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