半導体製造プロセスと機械学習・深層学習 (AI) の活用

オンライン 開催

本セミナーでは、半導体製造プロセスにおけるAI・生成AI活用を、制御系設計とセンサーデータ解析の両面から解説いたします。

日時

中止

プログラム

半導体製造では、微細化・工程複雑化・品質要求の高まりにより、プロセスデータや装置データを活用したAI導入が重要性を増している。  本講演では、半導体製造プロセスにおけるAI・生成AI活用を、制御系設計とセンサーデータ解析の両面から解説する。第一部では、制御設計へのAI適用、生成AIによる開発支援、システム展開を紹介する。第二部では、エッチングプロファイル推定、異常検知・予知保全、プロセス最適化、外観検査などの現場課題を取り上げ、汎用ツールを用いたAI実践例を説明し、課題解決に向けたヒントをお届けする。

  1. 制御設計へのAI活用例と生成AI実践
    1. はじめに
    2. 制御系設計におけるAI活用の全体像
    3. 制御設計へのAI適用
    4. 生成AIによる開発支援
    5. システムへの展開
    6. まとめ
    7. 質疑応答
  2. センサーデータへの適用と汎用ツールを用いた実践例
    1. はじめに:半導体製造におけるAI活用の全体像
    2. 機械学習と深層学習 (AI) の概要
    3. センサーデータから価値を創出するAI活用とMATLAB実践例
      1. エッチングプロファイルの推定
      2. 半導体製造装置の教師なし異常検知・予知保全
      3. プロセス最適化
      4. 外観検査など
    4. AIモデルの現場実装
    5. まとめ
    6. 質疑応答

受講料

  • 1名様: 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
  • 複数名: 25,000円(税別) / 27,500円(税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
  • 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 35,000円(税別) / 38,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 120,000円(税別) / 132,000円(税込)
    • 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 Zoomのシステム要件 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
セミナーに申し込む