エアロゾルデポジション法の成膜原理とプロセス制御指針・応用展開

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本セミナーでは、エアロゾル・デポジション法について取り上げ、成膜の原理、装置の構成、成膜条件の膜への影響、成膜粒子の速度測定手法、結晶配向膜の形成、成膜体の特性と各種用途展開などエアロゾルデポジション法を活用するための基礎から応用までを詳しく解説いたします。

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プログラム

エアロゾルデポジション (AD) 法は、従来の「高温焼結によってセラミックスを形成する」手法とは全く異なる新規の「焼かない」手法です。室温にてセラミックス粒子を基板に衝突させることで、数ミクロンから数十ミクロン程度の厚さとなる原料粒子と同一組成・結晶構造を有する緻密かつ結晶質な膜が形成します。この手法は、室温にて粒子の運動エネルギーを利用してセラミックス膜を形成することから、エネルギー消費を大きく抑制する環境に配慮した新規の材料創製法として持続可能な社会の構築に必須のプロセス技術だと考えられます。  本セミナーでは、AD法における装置の構成や成膜の特徴、原理について解説するとともに、本手法の応用展開について紹介します。

  1. エアロゾルデポジション (AD) 法による成膜の特徴
    1. 背景
    2. AD装置の構成
    3. 成膜条件が膜の形成に与える影響
      1. アルミナ粒子での成膜
      2. ジルコニア (YSZ) 粒子での成膜
      3. ムライト粒子での成膜
      4. 金属粒子での成膜
  2. エアロゾルデポジション (AD) 法による成膜の原理
    1. 近年提唱されている成膜原理
    2. シミュレーションによる成膜の理解
    3. 成膜粒子の速度測定手法
    4. 粒子速度および粒子のエネルギーに基づいた成膜の解析
    5. AD法による結晶配向膜の形成
  3. 成膜体の特性と用途展開
    1. 粒子配向チタン酸ビスマスAD膜の物性
    2. AD法による低発塵性部材
    3. プラスチックへのAD法の適用
    4. ADアルミナ硬質膜のローラへの適用
    5. AD膜の環境遮蔽膜としての可能性
    • 質疑応答

受講料

  • 1名様: 38,200円(税別) / 42,020円(税込)
  • 複数名: 25,000円(税別) / 27,500円(税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,200円(税別) / 42,020円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

オンデマンドセミナーの留意点

  • 申込み後、セミナーのキャンセルは承りかねます。 予めご了承ください。
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  • 視聴期間は、視聴方法のご案内メールの送信日より10営業日の間です。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
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