tech-seminar.jp 技術セミナー お申し込み

真空成膜技術の基礎と機能性薄膜作成におけるトラブルシューティング

オンライン 開催
セミナーに申し込む

本セミナーでは、真空の基礎を学ぶとともに、具体的なトラブルや失敗の原因および対策について解説いたします。

日時

開催予定

プログラム

成膜技術は社会インフラを変え、人々の日常生活に大きな恩恵を与えているだけでなく、科学技術そのものの発展を加速し続けている。しかし、その広範で高度な技術がために、同じ成膜技術者であっても、少し手法や製品が変わるとその原理や特性についてまったく知らないことが多い。また、自ら扱っている装置であっても、表面上の付き合いに留まり、機器をブラックボックス化して、日常の運転・保守を続けていることが多い。しかし、このような日常にこそ、トラブルと事故の遠因が潜んでいる。 　この講義では、真空環境を使った各種成膜装置の背景にある物理を基礎から再認識してもらい、後半では薄膜作成におけるトラブルと失敗をその対策とともに紹介する。

  1. 基礎の無理解とブラックボックス化が起こす成膜絡みの大事故
    1. 成膜作業が絡む大事故例
    2. リスクマネジメントとハインリッヒの法則
  2. 成膜と真空の密な関係
    1. 成膜は目的、良い真空はその手段の1つ
    2. 何故、良い成膜に良い真空が必要なのか?
    3. そもそも良い真空とはどんなものか?
    4. 成膜室の真空が良いだけでは良い膜ができない
  3. 無駄なトラブルと事故を避けるため、成膜に関連が深い真空工学をちょこっと復習
    1. 気体分子運動論と気体の性質
    2. 気体の流れと真空排気
    3. 真空排気の理想と現実
  4. これだけは押さえたい、2時間で学ぶ成膜技術の基礎のキ
    1. 成膜のおける重要な鍵
    2. 原料物質 (粒子) への作用エネルギーの大きさで分類する成膜方法
    3. 成膜の素過程
    4. スパッタリングを少し深く理解してみよう
    5. 反応性スパッタは本当にPVDの1つとして良い?
      • 沢山あり過ぎ混沌とする成膜法の分類
    6. 原料粒子への作用エネルギーで分類を再定義
    7. 薄膜の育ち方とその条件
    8. こんなにある薄膜の評価法
  5. 成膜装置におけるトラブル事例と解決法
    1. デタラメな機械加工や接合にダマされるな
    2. 不純物と維持費抑制に必須な装置内面の表面処理や表面改質
    3. 絶対避けたい擬似リーク
    4. オイルフリー排気系の落とし穴
    5. 成膜法に依っては必須のベーキング
    6. 吸っても安全な成膜原料ガスは1つもない
    7. 成膜にまつわるモノ (素材、部品、装置等) に素手で触れるのはどれだけの悪さなのか?
    8. パーティクルはどこからどう生まれる?
    9. 成膜中、陰で進行している汚染ガス放出とパーティクルの生成
    10. 圧力測定には全圧計だけでは不十分
      • 残留ガス質量分析計 (プロセスガスモニタ) が解決する膜作り
    11. 大面積化、ハイパワー化の必要条件と功罪
    12. 成膜真空容器に鎧を付けよう
    13. 汚染を引き起こさない真空成膜装置の正しい扱い方
  6. 最近話題の成膜法 (HiPIMSやSpatial ALD等)
  7. まとめと質疑応答

受講料

  • 1名様: 42,000円(税別) / 46,200円(税込)
  • 複数名: 27,500円(税別) / 30,250円(税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 27,500円(税別) / 30,250円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,000円(税別) / 46,200円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 55,000円(税別) / 60,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 82,500円(税別) / 90,750円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 Zoomのシステム要件 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
セミナーに申し込む