超高真空技術の基礎と装置製作への応用

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本セミナーでは、真空計の計測原理、ポンプの排気原理、真空材料のガス放出メカニズムを解説いたします。

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プログラム

本セミナーでは、数式は極力使わずに、図や動画を利用して超高真空技術の基礎、真空計、真空ポンプ、真空材料等について解説いたします。真空関連業務や超高真空装置の製作を行う際に必須となる知識について解説いたします。

  1. 超高真空技術の基礎
    1. 真空の定義
    2. 圧力の単位
    3. 真空排気中の圧力の時間依存性
    4. 残留ガスの成分
    5. 真空中の気体分子の個数
    6. 気体分子の平均速度
    7. 気体分子の平均自由行程
    8. 気体分子と真空容器表面との衝突
    9. 表面への分子の吸着
    10. 粘性流と分子流
    11. 排気速度と排気にかかる時間
    12. ベーキング
    13. コンダクタンス
    14. 真空ポンプの実効排気速度
  2. 種々の真空計とそれぞれの計測原理
    1. 真空計の分類
    2. 真空計の測定範囲
    3. ブルドン管真空計
    4. 隔膜真空計
    5. 熱伝導真空計
    6. ピラニ真空計
    7. 電離真空計
    8. 冷陰極電離真空計
    9. 熱陰極電離真空計
    10. 気体の種類による感度の違い
    11. 分圧計
    12. 四重極型質量分析器
    13. 残留ガス分析
  3. 種々の真空ポンプとそれぞれの排気原理
    1. 真空ポンプの分類
    2. 気体輸送式ポンプの種類と性能指標
    3. 気体ため込み式ポンプの種類と性能指標
    4. 各種ポンプの動作圧力範囲
    5. 油回転ポンプ
    6. ドライ真空ポンプ
    7. 多段ルーツポンプ
    8. スクリュー真空ポンプ
    9. ダイアフラムポンプ
    10. ターボ分子ポンプ
    11. クライオポンプ
    12. スパッタイオンポンプ
    13. 非蒸発型ゲッタポンプ
  4. 真空用材料・真空部品とガス放出
    1. ステンレス鋼
    2. アルミ合金
    3. チタン合金
    4. 高融点金属
    5. 有機系材料
    6. 潤滑剤
    7. コンフラットフランジ
    8. 無酸素銅ガスケット
    9. 配管部品
    10. 配線材料
    11. 大気圧乾燥窒素導入システム
    12. 超高真空装置製作技術設計の指針
    13. 表面処理法
    14. ベーキング技術
    15. リークチェック法
  5. おわりに
    • 質疑応答

受講料

  • 1名様: 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
  • 複数名: 40,000円(税別) / 44,000円(税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。
  • 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 80,000円(税別) / 88,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 120,000円(税別) / 132,000円(税込)
    • 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 160,000円(税別) / 176,000円(税込)
    • 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 190,000円(税別) / 209,000円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

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  • 視聴期間は2026年10月29日〜11月8日を予定しております。
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