本セミナーでは、有機金属化合物の特徴とALD用原料としての揮発可能な原料の開発指針を中心として、多種気相原料の特徴とALDに適しているか否かを解説いたします。
また、原料の揮発・輸送手段の例とそれぞれの問題点をあげ、その対策法を具体的に紹介いたします。
さらに、現在、注目を集めているMoS2などカルコゲナイドや遷移金属薄膜の原料と成膜、ならびに近年盛んになった低温ALDについても触れます。
日時
- 2026年10月16日 10時30分〜 2026年10月26日 16時30分
中止
プログラム
有機金属化合物の一般的特徴とALD用原料としての揮発可能な原料の開発指針を中心として、多種気相原料の特徴とALDに適しているか否かを解説する。また、原料の揮発・輸送手段の例とそれぞれの問題点をあげ、その対策法を具体的に紹介する。さらに現在、注目を集めているMoS2などカルコゲナイドや遷移金属薄膜の原料と成膜、ならびに近年盛んになった低温ALDについても触れる。
- はじめに
- 気相成長原料の過去・現在
- 気相成長技術の採用
- 原料の反応性とALD
- 化学吸着とALDサイクル
- TMAとH2O
- H2Oと反応しない原料
- 非化学吸着のよるALDサイクル
- 物理吸着とALDサイクル
- 問題点
- 原料の基礎
- 有機金属原料
- 有機金属とは
- 有機金属の合成法
- 有機金属の実用
- 原料の分子設計
- 揮発性
- 有機金属結合型
- 共有結合性有機金属
- イオン結合性有機金属
- 蒸気圧向上法
- 低融点
- 共有結合とイオン結合
- 低融点化
- 原料の安全性
- 消防法危険物
- 引火性
- 発火性
- 水との反応性
- 爆発性
- 毒性
- 急性毒性・慢性毒性
- 特に注意すべき原料
- 原料の製造
- 量産性
- コスト
- 原料の分解
- 熱分解
- 自己分解
- 雰囲気ガス
- 分解温度の調整
- 低温化
- 高温化
- 原料の揮発・輸送
- 蒸気圧直接供給
- ガス原料
- 微差圧駆動MFC
- キャリアガスバブリング
- 液体原料
- 溶液原料
- タイプA
- タイプB
- 蒸気圧と揮発性
- ダイレクトリキッドインジェクション
- 液体原料
- 溶液原料
- 原料の同時供給
- Pre-reaction
- Adduct形成
- 新しいALD状況
- カルコゲナイドALD
- メタル膜ALD
- 新原料を用いたALDの実験と最新結果
- アトミックレイヤーエッチング
- 低温ALD
- TMAによるAl2O3
- 他の多量体原料
- 各種原料の室温反応性比較
- 質疑応答
受講料
- 1名様: 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 複数名: 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
複数名同時受講割引について
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
- 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
- 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 180,000円(税別) / 198,000円(税込)
- 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 210,000円(税別) / 231,000円(税込)
- 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 請求書は、代表者にご送付いたします。
- 他の割引は併用できません。
アカデミック割引
- 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
- 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
- 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
- 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
- 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
- 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
- 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。
アーカイブ配信セミナー
- 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
- 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
- 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
- 視聴期間は2026年10月16日〜26日を予定しております。
ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。 - セミナー資料は別途、送付いたします。