蛍光X線分析法の基礎と応用、および適用例 (環境、工業材料、文化財、バイオ、アグリ)

製造現場において様々な元素分析のニーズがある。例えば、製品の品質保証の観点から、製品中の元素組成が一定かどうか、メッキ膜の厚さが均質化どうか、試料中にどのような元素がどの程度含まれているかを知りたい、製品中に入っていた異物が何で、その発生源はどこなのか、など様々な課題が生じる。このような場面において、蛍光X線分析法は答えを導く解決法の1つとなる。他の元素分析法 (例えば、ICP発光/質量分析法やSEM-EDSなど) と比較して、蛍光X線分析法の特徴は大気中で、非接触に、直接、固体や液体試料を元素分析することができる点である。 　本講義では、蛍光X線分析の原理、装置構成を説明し、いくつかの分析例 (環境試料、工業製品、表面層解析、を紹介する。さらに、発展編として、微小部蛍光X線分析、元素マッピング、および、全反射蛍光X線分析法による微量分析についても解説する。

1. はじめに
   1. X線とは
   2. 蛍光X線の発生
   3. 元素分析法における蛍光X線分析の位置づけ
   4. 蛍光X線分析法の特徴
2. 蛍光X線分析装置の構成
   1. X線の分光方法
   2. 波長分散型蛍光X線分析装置の構成
   3. エネルギー分散型蛍光X線分析装置の構成
   4. X線スペクトルの読み方と注意点
   5. X線フィルターの利用
   6. 試料のマトリックス効果
   7. 標準試料と蛍光X線分析における定量分析
3. 汎用的な蛍光X線分析装置の適用例
   1. 水溶液
   2. 土壌
   3. 茶葉
   4. 毛髪
   5. 金属試料
4. 微小部蛍光X線分析法
   1. X線の集光
   2. 微小部蛍光X線分析装置の構成
   3. 適用例
      1. 電子基板
      2. バイオ試料
      3. 文化財・工芸品
5. 全反射蛍光X線分析法
   1. X線全反射現象
   2. 全反射蛍光X線分析装置の構成
   3. 適用例
      1. 水溶液
      2. バイオ試料