製造現場において様々な元素分析のニーズがある。例えば、製品の品質保証の観点から、製品中の元素組成が一定かどうか、メッキ膜の厚さが均質化どうか、試料中にどのような元素がどの程度含まれているかを知りたい、製品中に入っていた異物が何で、その発生源はどこなのか、など様々な課題が生じる。このような場面において、蛍光X線分析法は答えを導く解決法の1つとなる。他の元素分析法 (例えば、ICP発光/質量分析法やSEM-EDSなど) と比較して、蛍光X線分析法の特徴は大気中で、非接触に、直接、固体や液体試料を元素分析することができる点である。
本講義では、蛍光X線分析の原理、装置構成を説明し、いくつかの分析例 (環境試料、工業製品、表面層解析、を紹介する。さらに、発展編として、微小部蛍光X線分析、元素マッピング、および、全反射蛍光X線分析法による微量分析についても解説する。
- はじめに
- X線とは
- 蛍光X線の発生
- 元素分析法における蛍光X線分析の位置づけ
- 蛍光X線分析法の特徴
- 蛍光X線分析装置の構成
- X線の分光方法
- 波長分散型蛍光X線分析装置の構成
- エネルギー分散型蛍光X線分析装置の構成
- X線スペクトルの読み方と注意点
- X線フィルターの利用
- 試料のマトリックス効果
- 標準試料と蛍光X線分析における定量分析
- 汎用的な蛍光X線分析装置の適用例
- 水溶液
- 土壌
- 茶葉
- 毛髪
- 金属試料
- 微小部蛍光X線分析法
- X線の集光
- 微小部蛍光X線分析装置の構成
- 適用例
- 電子基板
- バイオ試料
- 文化財・工芸品
- 全反射蛍光X線分析法
- X線全反射現象
- 全反射蛍光X線分析装置の構成
- 適用例
- 水溶液
- バイオ試料
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