本セミナーでは、表面分析の基礎から解説し、X線・電子・イオンの特性とそれらがサンプル表面と相互作用する仕組み、代表的な表面分析手法の原理や分析例、応用としてマッピングや深さ分析について解説いたします。
先端技術の粋が集められた表面分析装置は、ナノテクを中心とした技術開発に欠かせない存在です。分析の対象 (サンプル) は、半導体素子、医薬品、など様々であり、その使用目的もプロセス開発、品質管理、など多岐にわたっています。 特に近年の表面分析装置はユーザーフレンドリーであり、比較的容易に相応の結果を得ることができます。その反面、いわゆるブラックボックス化が進んでいるため、表面分析の基礎や原理が蔑ろにされがちです。また、出力されたグラフや数値を確認しても、考察が不十分になる、他のデータとの不整合を見過ごす、等の問題が生じる可能性があります。 そこで本セミナーでは、基礎事項として、サンプル表面に入射するX線、電子、イオンの特徴、これらと表面との相互作用、出力に至るまでの信号の流れ、等を分かり易く解説します。また、代表的な表面分析の原理や分析結果の例を紹介します。加えて、表面分析の応用として、マッピング、深さ分析について説明します。
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