真空蒸着による有機薄膜形成と蒸着重合法の基礎と応用

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本セミナーでは、真空蒸着法の基礎から分子配向制御方法、蒸着重合法や摩擦転写法を含む各種薄膜作製技術、蒸着重合法による均一な高分子膜のコーティング手法について詳細に解説いたします。
さらに、有機LEDや耐久性コーティング技術などの次世代応用事例を交え、電子・光機能性有機薄膜、封止膜や防食膜、耐熱・防汚コーティング技術の実例と将来性についても解説いたします。

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プログラム

有機ELや有機光・電子素子などを作製するためには、有機分子を薄膜化する技術を詳細に理解する必要がある。特に真空蒸着法は不純物の混入抑制に加え分子配向制御も可能できるため高性能化や特異な機能の発現が期待できる。その応用である蒸着重合法では複雑形状の基材にも均一な高分子膜をコーティング可能であり、封止膜等への応用が可能であるのみならず、人工的キラリティを示す螺旋構造を光学活性を持たない安価なモノマーから作製できることがわかってきた。  本セミナーでは各種成膜法について解説し、その特徴と応用について紹介する。

  1. 有機薄膜概論
    1. 有機物の特徴
    2. 結晶、非晶、液晶
    3. 高次構造制御の必要性
  2. 有機薄膜作製法
    1. 乾式法と湿式法
    2. 真空蒸着法
    3. 蒸着重合法
    4. 摩擦転写法
    5. その他の作製法
  3. 真空蒸着法による有機薄膜
    1. 蒸着条件と配向の関係
    2. 薄膜形成機構
    3. 有機蒸着薄膜各論
  4. 蒸着重合法による高分子薄膜
    1. 蒸着条件と配向の関係
    2. 薄膜形成機構
    3. 高分子超格子
    4. 蒸着重合膜各論
  5. 応用と将来展望
    1. 電気・電子機能
      • 半導体
      • 圧電体 等
    2. 電子・光機能
      • 有機LED
      • 有機受光素子 等
    3. 耐熱コーティング
    4. 防汚コーティング
    5. 封止膜
    6. 防食膜
    7. コンフォーマルコーティング
    8. キラル高分子薄膜
    9. その他
  6. まとめ

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