本セミナーでは、SiC結晶やその欠陥の種類、デバイス特性への影響についてレビューした後、結晶欠陥の評価手法に関して解説いたします。
日時
- 2026年6月29日 13時00分〜 2026年6月29日 16時30分
開催予定
プログラム
SiCパワーデバイスは、N700S系新幹線をはじめとする電鉄車両の電力変換や、電気自動車などにすでに用いられており、社会実装が始まっている。しかし、無転位の結晶を前提とすることができるSiと比較すると、多くの結晶欠陥がSiCウェハには含まれており、SiCパワーデバイスの生産性を低下させる原因となっている。このため、SiCパワーデバイスにおいては、結晶欠陥の評価が重要となる。 本講座では、SiC結晶やその欠陥の種類、デバイス特性への影響についてレビューした後、結晶欠陥の評価手法に関して解説を行い、SiCウェハの欠陥評価法の理解を深める。
- はじめに:SiCパワーデバイスと結晶欠陥
- SiCパワーデバイスの特性と高品質SiC結晶基板の重要性
- SiC基板市場の現在地と供給状況
- SiCウェハにおける「品質」とは
- SiCの結晶構造
- SiCの結晶多形 (Polytype) とその記述
- 六方晶の結晶方位 (四指数法)
- Si面とC面、オフ角
- 結晶欠陥の基礎
- 結晶欠陥の種類
- 点欠陥
- 線欠陥
- 面欠陥
- 転位の基礎
- 刃状転位
- らせん転位
- 混合転位
- 結晶欠陥の種類
- SiC結晶欠陥の種類とデバイスへの影響
- SiC特有の欠陥
- マイクロパイプ
- 貫通転位
- 基底面転位
- 貫通転位の分類と基底面転位 (BPD)
- TSD
- TED
- TMD
- 積層欠陥とエピ膜中の欠陥
- デバイスリーク電流・耐圧への影響
- 酸化膜信頼性への影響
- バイポーラ劣化と積層欠陥拡張メカニズム
- SiC特有の欠陥
- 結晶欠陥の評価法
- 結晶欠陥評価法の全体像
- X線トポグラフィ法 (放射光トポグラフィ含む)
- フォトルミネッセンス法 (PL)
- 偏光顕微鏡法 (PLM)
- KOHエッチング法
- 透過電子顕微鏡法 (TEM)
- 各評価手法の特徴と適用範囲
- マルチモーダル解析と自動検出
- 結晶欠陥のマルチモーダル解析
- 複数評価手法による同一欠陥の対応付け
- 欠陥自動検出アルゴリズム (画像処理)
- 結晶欠陥制御の実例
- 昇華法・溶液法による結晶成長と欠陥低減
- イオン注入による積層欠陥拡張の抑制技術
- まとめ・質疑応答
- まとめ:SiC結晶欠陥評価・制御の重要性
- 質疑応答
受講料
- 1名様: 34,400円(税別) / 37,840円(税込)
- 複数名: 22,500円(税別) / 24,750円(税込)
複数名受講割引
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 34,400円(税別) / 37,840円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
- 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 請求書は、代表者にご送付いたします。
- 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。 - 他の割引は併用できません。
- サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。
アカデミー割引
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
- 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
- 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
- お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。
ライブ配信セミナーについて
- 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
- お申し込み前に、 Zoomのシステム要件 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
- 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
印刷物は後日お手元に届くことになります。 - ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
- 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
- Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。