本セミナーでは、スパッタの原理を確認し、さらに最新のカソード技術を紹介しながら、現場の品質向上についても解説いたします。
日時
- 2026年7月17日 10時30分〜 2026年7月27日 16時30分
開催予定
プログラム
スパッタ技術は、再現性が良く大面積にも均一性があり、低温においても密着性良く成膜出来る重要な技術であり、フィルム基板、プラスチック基板、ガラス基板など多くの製品に使われている。そのため、生産現場における利用も増加し、膜の精密制御、コストダウン、密着性の向上、自動化の推進等様々なニーズや課題が生じている。 本セミナーでは、スパッタの原理を確認し、さらに最新のカソード技術を紹介しながら、現場の品質向上についても解説する。
- スパッタリングの理解とノウハウ
- スパッタリング現象とは
- 蒸着膜との違い
- スパッタリング率
- 平均自由行程とは
- 圧力と薄膜の構造の関係
- 入射エネルギーと測定法
- スパッタ膜のダメージと低ダメージのポイント
- スパッタでの重要な要素技術
- DC、RF、パルス電源の原理、違い
- パルス電源のメリット
- 各種マグネトロン方式による膜質改善
- 各種カソードの特徴と使う時の注意点
- ロータリーカソードの長所、短所
- 化合物膜の作製法
- ターゲットの利用効率を上げるポイント
- ターゲットを長時間使う際の注意点
- 反応性スパッタ
- 反応性スパッタのメリット
- ヒステリシス現象とは?
- インピーダンス制御
- 遷移領域を使った高速成膜
- 成膜速度を上げる方法、種類
- アーキングを減らすには?
- アノード消失とは?
- 大面積での膜厚均一化と評価
- プラスチックフィルム基板などの低温成膜
- 最近話題の用途
- 透明導電膜
- タッチパネル
- 次世代ディスプレイなど
- 光学薄膜
- 低温製膜
- ハイバリア膜
- 光学レンズなど
- 省エネ用膜
- 太陽光パネルなど
- 装飾膜
- 金属色調フィルムなど
- 透明導電膜
- 技術トピックス
- HIPIMS技術 (高電力スパッタ技術)
- シミュレーション技術
- ガスフロースパッタ
- 各種トラブルシューティング対策
- 膜剥がれ
- 密着性改善など
- 質疑応答
受講料
- 1名様: 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 複数名: 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
複数名同時受講割引について
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
- 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
- 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 180,000円(税別) / 198,000円(税込)
- 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 210,000円(税別) / 231,000円(税込)
- 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 請求書は、代表者にご送付いたします。
- 他の割引は併用できません。
アカデミック割引
- 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
- 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
- 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
- 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
- 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
- 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
- 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。
アーカイブ配信セミナー
- 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
- 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
- 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
- 視聴期間は2026年7月17日〜27日を予定しております。
ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。 - セミナー資料は別途、送付いたします。