本セミナーでは、フォトレジストに求められる要求特性とそれを達成するための材料設計をメインに、フォトレジストの基礎から評価、適用されるアプリケーション、トラブルの原因と対策について具体的に解説いたします。
日時
- 2026年6月24日 13時00分〜 2026年6月24日 17時00分
開催予定
プログラム
半導体用の微細加工用に適用されるフォトレジストは、半導体の黎明期には、数十um程度であったモノが、半導体素子の高性能化に伴い、昨今では、数nm レベルの加工に至っている。また、フォトレジストが、ディスプレイ、車載デバイス、通信デバイスに適用されるようになり、その使用法と要求特性は微細化のみならず、多様性を極めている。 特に、シンギュラリティの実現に伴い、今後必要とされる高性能な5感センサー、ソフトロボトロニクス、高速 (移動) 通信用のデバイスにおいては、従来のアプリケーション向けフォトレジストとは、更に特殊な要求が求められる事となっている。 今回の講演では、フォトレジストに求められる要求特性とそれを達成するための材料設計をメインにフォトレジストとはどういうモノであるかについて具体的に紹介する。
- フォトレジスト材料
- フォトレジストとは
- 光化学反応に基づく4つのカテゴリー
- 露光波長毎のポジ型フォトレジスト原料構造と光化学反応
- G〜I線露光
- KrF 露光
- ArF 露光
- EUV 露光
- G〜I線露光用ポジ型フォトレジスト原料の構造とレジスト設計
- G〜I線露光用ポジ型フォトレジスト原料構成
- ノボラック樹脂の合成方法と構造特性
- バラスト化合物と感光材の構造特性
- 各種添加剤の構造特性 (増感剤、界面活性剤)
- 溶剤の構造特性
- フォトレジストのパターニングプロセスと性能影響因子
- 基板
- 塗布
- プリベーク
- 露光
- マスク
- PEB
- 現像・リンス
- ポストベーク
- フォトレジストのパターニング後の耐性評価
- ウェットエッチング
- ドライエッチング
- イオンインプラ
- めっき
- リフトオフ
- 犠牲層・構造化
- フォトレジストのトラブルシューティング
- フォトレジストが適用されるアプリケーション
- 半導体
- パワーモジュール (車載・エナジーハーベスト)
- MEMS 五感センサー
- 次世代高速移動通信Beyond5G/6G
- 光デバイス
- アプリケーションの進化に伴いこれから求められるフォトレジスト予想
- 事前に頂いたフォトレジストに関するお悩み相談室
受講料
- 1名様: 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 複数名: 22,500円(税別) / 24,750円(税込)
案内割引・複数名同時申込割引について
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案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
- R&D支援センターからの案内を希望する方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
- R&D支援センターからの案内を希望しない方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
ライブ配信セミナーについて
- 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
- お申し込み前に、 Zoomのシステム要件 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
- 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
- Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。