ドライコーティングの必須知識&活用技術

機能性の高い材料を薄膜として用いる場合、原子レベルでその組成や構造を制御でき、バインダーなども用いないドライコーティングは現在および将来においても有益な技術です。 　本講演では、ドライコーティングの必須知識とその活用のためのポイントを解説します。

1. なぜドライコーティングなのか?
   1. 選べる膜材料
   2. 膜厚は何nm必要か?
   3. 膜質の調整
   4. 凹凸、曲面への対応
2. なぜ真空装置が必要なのか?
   1. 大気圧と真空
   2. 真空の中身
   3. 「きれい」の基準
   4. 真空ポンプの種類と特徴
3. 膜ができるしくみ
   1. なぜくっつくのか?
   2. 膜になるまでの過程
   3. 結晶、多結晶、アモルファス
4. 原子、分子の作り方
   1. 蒸着
      • 抵抗加熱
      • 誘導加熱
      • 電子ビーム加熱
   2. スパッタリング
      • マグネトロンスパッタ
      • 高周波スパッタ
      • デュアルカソードスパッタ
   3. CVD
      • バブリング
      • 気化器
5. 膜質の調整方法
   1. 原子の運動エネルギー
   2. 原子の反応エネルギー
   3. プラズマの生成方法と役割
   4. 微量元素の添加
6. プロセスのモニタの方法と意義
   1. 真空度
   2. 真空の組成
   3. 膜厚
   4. 最も簡易なプラズマモニタ
7. 膜の評価と設計
   1. 密着力評価の本質
   2. 硬さとしなやかさ
   3. 結晶と粒界

• 質疑応答・名刺交換