X線光電子分光法 (X-ray Photoelectrons Spectroscopy: XPS) は、材料表面分析手法の一つである。材料表面数nmの定性、定量分析だけでなく、化学結合状状態分析が可能で、材料表面の特性を評価するのに有用な手法である。また、検出器と試料の検出角度を変化させる検出角度分解法による非破壊の深さ方向分析や、Ar (アルゴン) スパッタリングを併用しながら、材料の深さ方向の分析も可能である。
本セミナーでは、まず、XPSの原理およびスペクトルから得られる基本的な情報を紹介する。次に、正確な解析を行うための測定条件の最適化、チャージアップ対策、近年注目されているクラスターイオンビームを用いた深さ方向分析、材料により異なる試料調整を紹介し、スペクトルの解析法についても触れる。続いて、実際的な測定応用例として、二次電池材料やバイオポリマーなど、機能性材料について実際に評価した事例、また、XPSを最大限にまで活用したチャレンジング解析事例について解説する。最後に、装置のメンテナンスについても触れ、XPS装置の初歩から応用までの全体的な内容を解説する。
- X線光電子分光法 (XPS)
- 表面分析とは
- XPSの原理
- 定性、定量、化学状態分析
- XPSの測定手法、条件の最適化
- 深さ方向分析
- 帯電補正
- 材料により異なる試料調整法
- 測定条件の最適化
- スペクトルの解析法
- スペクトルの構成およびスペクトル処理
- ピーク分離の理論と実践
- 実際の測定例
- 機能性材料表面への応用
- チャレンジングな解析事例
- XPS装置の管理・運営
- 装置のメンテナンス
- メンテナンス体制
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- 視聴期間は2026年5月26日〜6月5日を予定しております。
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