本セミナーでは、Cu/Low-k配線の基礎と、2nm世代以降で顕在化する抵抗増大・信頼性劣化の限界要因を整理したうえで、Ru/AG (Airgap) 配線や裏面電源配線 (BSPDN) など次世代配線技術の最新動向をわかりやすく解説いたします。
日時
- 2026年7月24日 13時00分〜 2026年7月24日 16時30分
開催予定
プログラム
近年、AIの急速な進展と応用の拡がりによって、それを支える先端半導体が世界的に注目されている。先端半導体では、さらなる集積度の向上が求められているが、2nm世代以降の微細配線では、従来のCu/Low-k配線による限界が見え始め、Ru/Airgapなどの新材料/新構造、裏面配線等の研究開発が盛んに行われている。 本セミナーでは、現在使われているCu/Low-k配線の基礎から、2nm世代以降の配線に向けた新材料、新構造や新プロセスの最新研究開発動向を解説する。
- 集積回路配線の基礎知識
- 配線の微細化と3D化が求められる背景
- 配線の役割と性能指標
- 配線の役割
- 階層化された多層配線構造
- 配線の性能指標
- 各配線層の役割に応じた要求性能
- 配線信頼性の基礎知識
- 微細化に伴う配線信頼性の重要性
- デバイスの故障と信頼性予測の手順
- エレクトロマイグレーション (EM)
- ストレス誘起ボイド (SIV)
- TDDB
- 耐湿信頼性
- Cu/Low-k配線プロセス
- Cu/Low-kダマシンプロセスと課題
- Low-k絶縁膜と課題
- ダマシン法に用いる要素プロセス
- バリア・ライナ
- めっき
- リフロー
- CMP
- nm以降半導体に向けた配線の材料・構造・プロセス
- 2nm以降半導体に向けた配線の課題
- 新材料への切り替え時期予測とロードマップ
- 2nm以降の微細パターンの形成方法 (Self-Aligned Double Patterning)
- Cu配線の延命
- Advanced Low-k膜 (高プラズマ耐性Low-k膜)
- バリア/ライナーの薄膜化
- Cu埋め込み法の改善
- グラフェンキャップによる改善
- ビア抵抗低減のための新構造とプロセス
- Cu代替配線配線材料
- 代替配線材料の選択基準
- 代替配線材料をしぼり込む流れ
- ルテニウム/エアギャップ配線 (Ru/AG)
- モリブデン
- グラフェン
- その他の代替配線材料
- 2nm以降の配線信頼性
- Ru/AG配線のEM信頼性とジュール発熱
- Ru/AG配線のTDDB信頼性
- 新構造とプロセス
- 配線とビアのセルフアライン接続構造とプロセス
- 裏面電源配線 (Backside Power Delivery Network) と3D集積
- 質疑応答
受講料
- 1名様: 34,400円(税別) / 37,840円(税込)
- 複数名: 22,500円(税別) / 24,750円(税込)
複数名受講割引
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 34,400円(税別) / 37,840円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
- 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 請求書は、代表者にご送付いたします。
- 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。 - 他の割引は併用できません。
- サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。
アカデミー割引
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
- 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
- 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
- お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。
ライブ配信セミナーについて
- 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
- お申し込み前に、 Zoomのシステム要件 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
- 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
印刷物は後日お手元に届くことになります。 - ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
- 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
- Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。