tech-seminar.jp 技術セミナー 関連セミナーを探す

EUVレジスト/メタルレジストの要求特性、最新技術動向と課題、対策

オンライン 開催
再開催を依頼する 関連するセミナー・出版物を探す

本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、レジスト、マスク、ペリクル、光源など、各要素技術の開発動向と課題解決へ向けた取り組みについて詳解いたします。

日時

開催予定

プログラム

メモリー、マイクロプロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。微細加工を支えるリソグラフィ技術は現在先端の量産工程でEUVが用いられ、EUVレジストは開発が加速されている。 　本講演では、最新のロードマップを紹介した後、EUVリソグラフィの概要を述べ、EUVレジストの基礎、要求特性、課題と対策、最新技術動向について解説する。注目されているEUVメタルレジスト、EUVメタルドライレジストプロセスについて詳しく解説する。おわりにEUVレジスト、EUVメタルレジストの今後の技術展望、市場動向についてまとめる。

  1. ロードマップ
    1. リソグラフィ技術、レジストへの要求特性
    2. 微細化に対応するリソグラフィ技術の選択肢
    3. 最先端デバイスの動向
  2. EUVリソグラフィの概要
    1. 露光装置
    2. 光源
    3. マスク
  3. EUVレジストの基礎
    1. EUVレジストの設計指針
    2. 化学増幅型EUVレジストの反応機構
    3. EUVレジストプロセス
      1. アンダーレイヤー
  4. EUVレジストの要求特性
    1. 化学増幅型EUVレジスト用ポリマー
    2. 化学増幅型EUVレジスト用酸発生剤・クエンチャー
      1. 光分解性クエンチャー
  5. EUVレジストの課題と対策
    1. 感度/解像度/ラフネスのトレードオフ
    2. ランダム欠陥 (Stochastic Effects)
    3. EUVレジストの開発動向
      1. ポリマーバウンド酸発生剤を用いる化学増幅型レジスト
      2. ネガレジストプロセス
  6. EUVメタルレジスト
    1. EUVメタルレジスト用材料
    2. EUVメタルレジストの反応機構
    3. EUVメタルレジストの性能と開発動向
  7. EUVメタルドライレジストプロセス
    1. EUVメタルドライレジストプロセス用材料
    2. EUVメタルドライレジストプロセスの反応機構
    3. EUVメタルドライレジストプロセスの性能と開発動向
  8. EUVレジスト、EUVメタルレジストの技術展望、市場動向
    • 質疑応答

受講料

  • 1名様: 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
  • 複数名: 45,000円(税別) / 49,500円(税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
  • 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
    • 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 180,000円(税別) / 198,000円(税込)
    • 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 210,000円(税別) / 231,000円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

アーカイブ配信セミナー

  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
  • 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
  • 視聴期間は2026年4月3日〜13日を予定しております。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
  • セミナー資料は別途、送付いたします。
再開催を依頼する 関連するセミナー・出版物を探す