半導体デバイスの微細化により大幅に性能を向上することで、高度な情報通信技術などの革新に寄与してきた。ドライエッチングはその微細化の一翼を担ってきた技術である。
本セミナーでは、ドライエッチング装置の概要、および表面反応モデルをベースにしたエッチング反応のメカニズムについて解説する。さらにその応用例として形状制御 (寸法ばらつき、ラフネス) や装置への実装等ついて説明する。先端分野への取り組みとして、FinFET、GAA (Gate all around) 世代およびポストスケーリング世代を見据えた半導体デバイスのエッチング加工技術およびALE (Atomic Layer etching) 技術の応用、製造装置としての技術にについて解説する。
- イントロダクション
- 半導体デバイスのトレンド
- 半導体プロセスの概要
- ドライエッチング装置の概要
- プラズマエッチング開発の歴史 (概略)
- プラズマ源とドライエッチング装置
- ドライエッチングのメカニズム
- イオンアシスト反応 エッチング速度のモデル式
- エッチング選択比とガス
- CDシフト (寸法変動) のメカニズム
- 均一性制御技術:ウエハ温度・ガス分布制御
- 構造起因ゲート寸法ばらつきとAPC応用
- LER、Wiggling抑制技術
- 堆積制御によるLER改善とEUV応用
- 応力制御によるWiggling抑制
- 先端ロジックデバイスにおけるエッチング技術
- DTCO採用に伴うエッチングの課題
- Si/SiGe fin etching (ALE応用)
- WFM patterning
- GAA/CFET世代のエッチング技術
- GAAのエッチング課題とSiGeリセス加工
- CFETで求められるエッチング技術
- コンフォーマルドライエッチング
- 等方性ドライエッチング技術の概要
- 熱サイクルALE技術と装置
- 各膜材料のコンフォーマル加工
- 製造装置としてのエッチング技術
- 異物計測とその抑制
- エッチング装置内壁材料
- まとめ
案内割引・複数名同時申込割引について
R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。
「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 42,000円(税別) / 46,200円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
- R&D支援センターからの案内を希望する方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,000円(税別) / 46,200円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
- R&D支援センターからの案内を希望しない方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー
- 「Zoom」を使ったライブ配信またはアーカイブ配信セミナーのいずれかをご選択いただけます。
- お申し込み前に、 Zoomのシステム要件 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- セミナー資料は、PDFファイルを配布予定です。
- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
- 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
ライブ配信セミナーをご希望の場合
- Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
アーカイブ配信セミナーをご希望の場合
- 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
- 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
- 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
- 視聴期間は2026年2月16日〜27日を予定しております。
ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。