チップレット実装における接合技術動向

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本セミナーでは、チップレットの背景と動向、フリップチップ接合技術の変遷、アンダーフィル・ハイブリッドボンディング・装置の最新動向など、チップレットの実装信頼性を支える接合技術を解説いたします。

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最先端半導体微細化の限界と歩留まり課題が認識され、製造コスト低減や開発期間の短縮でSoCからチップレットへ進展してきた。チップレットでは各種機能の異なるノードの良品半導体を組み合わせフリップチップ接合で一体化 (2D, 2.xD,3D) する。このチップレットにおける接合技術は実装信頼性を支える重要な要素技術である。本セミナーではその最新動向を紹介する。

  1. チップレットの背景と動向
    • AMD
    • インテル
    • TSMC
    • サムスン電子
    • SKハイニックス等
  2. フリップチップ接合技術の変遷
    • 各種バンプ形成
    • マスリフローとTCB等
  3. アンダーフィルの動向
  4. ハイブリッドボンディングの動向
  5. 検査装置、ボンダーメーカーの動向

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