ロールtoロールのウェット/表面処理技術

エレクトロニクス分野において、フレキしプル基板/デバイスの製造技術の1つとしてロールtoロール方式の製造技術が脚光を浴びています。 　ロールtoロール方式により、高速・効率的な成膜/表面加工/パターニングが実現可能な他、供給がロールで行えることから容易になるためです。 　ロールtoロール方式の製造ラインに、成膜工程や表面加工やパターニングなどの各種工程が組み込まれますが、ここで欠かせないのがめっき、レジスト塗布、現像処理、エッチング、洗浄などのウェット処理 (表面処理) です。 　本セミナーでは、ロールtoロール方式のウェット処理 (表面処理) 装置の業界トップメーカーである瀬戸技研工業が、最新の有機EL照明用洗浄装置・技術を含め、ロールtoロール方式による、めっき・レジスト塗布・現像・エッチング・洗浄技術などについて、分かりやすく、かつ詳細に解説します。

1. ロールtoロールについて
2. ロールtoロール技術の基礎
   1. ロールtoロールとリールtoロールの違い
   2. コア巻き取りの場合-メリット・デメリット
   3. リール巻き取りの場合-メリット・デメリット
   4. 発塵対策
3. ウェット処理プロセス
4. ロールtoロール方式の表面処理技術の基礎
   1. 種類
   2. 処理の形態
   3. 搬送方法
5. ロールtoロール方式のめっき処理技術と装置
   1. めっきの種類と処理
   2. 各めっき装置
   3. めっき装置でのトラブル事例
6. ロールtoロール方式のレジスト塗布・現像処理技術と装置
   1. レジスト塗布の種類と処理
   2. 塗布装置
   3. 塗布装置でのトラブル事例
   4. 現像処理の種類と処理
   5. 各現像装置
   6. 現像装置でのトラブル事例
7. ロールtoロール方式のエッチング処理技術と装置
   1. エッチング処理の種類と処理
   2. 各エッチング装置
   3. エッチング装置でのトラブル事例
8. ロールtoロール方式の剥離処理技術と装置
   1. 剥離処理の種類と処理
   2. 各剥離装置
   3. 剥離装置でのトラブル事例
9. ロールtoロール方式の洗浄処理技術と装置
   1. 洗浄処理の方法と種類
   2. フィルム式有機EL照明製造用洗浄装置
   3. 洗浄でのトラブル事例
10. ロールtoロール方式の表面処理技術の総括

• 質疑応答・名刺交換