X線光電子分光法 (XPS) の原理と注意点、実際の測定例

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本セミナーでは、X線光電子分光法 (XPS) の原理、放射光を用いた最近の光電子分光分析例、測定における注意事項、解析の流れと注意事項を分かりやすく説明いたします。

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プログラム

本セミナーでは、X線光電子分光法 (XPS) の原理、放射光を用いた最近の光電子分光分析例の紹介、測定における注意事項、解析の流れと注意事項を分かりやすく説明いたします。

  1. はじめに
    1. X線光電子分光法 (XPS) の原理
    2. XPSから得られる情報
    3. 他の表面分析手法との比較
  2. 放射光を用いた最近の光電子分光分析例の紹介
    1. 硬X線光電子分光法を用いた最近の分析例
    2. 角度分解光電子分光測定 (ARPES) を用いた最近の分析例
  3. 試料作成と測定時の留意事項
    1. 試料作成時の注意事項 (表面分析において、試料についてやってはいけないこと)
    2. 試料が帯電する理由と対処
  4. 解析の流れと留意事項
    (解析の流れは、主にSiO2/Si構造のXPS結果を用いて説明いたします)
    1. 背景信号
    2. ピーク分離
    3. 損失スペクトルを用いたバンドギャップの測定
    4. 深さ方向分析の原理と例
    5. 定量分析
  5. まとめ
    1. 光電子スペクトル解析時の注意事項と対策
    2. 表面分析において、分析試料についてやってはいけないこと
    3. まとめ

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