本セミナーでは、エアロゾル・デポジション法について取り上げ、成膜の原理、装置の構成、成膜条件の膜への影響、成膜粒子の速度測定手法、結晶配向膜の形成、成膜体の特性と各種用途展開などエアロゾルデポジション法を活用するための基礎から応用までを詳しく解説いたします。
日時
- 2026年1月14日 10時30分〜 2026年1月14日 16時30分
中止
プログラム
エアロゾルデポジション (AD) 法は、室温にて形成する新規の「焼かない」成膜手法です。セラミックス粒子を基板に衝突させることで、数ミクロンから数十ミクロン程度の厚さとなる原料粒子と同一組成・結晶構造を有する緻密かつ結晶質な膜が形成します。この手法は、粒子の運動エネルギーを利用してセラミックス膜を形成することから、エネルギー消費を大きく抑制する環境に配慮した新規の材料創生法として持続可能な社会の構築に必須のプロセス技術だと考えられます。 本講演では、AD法における装置の構成や成膜の特徴、原理について解説するとともに、本手法の用途展開についてご紹介します。
- エアロゾルデポジション (AD) 法による成膜の特徴
- 背景
- AD装置の構成
- 種々の成膜条件が膜の形成に与える影響
- アルミナ粒子での成膜
- ジルコニア (YSZ) 粒子での成膜
- ムライト粒子での成膜
- 金属粒子での成膜
- エアロゾルデポジション (AD) 法による成膜の原理
- 近年提唱されている成膜原理
- シミュレーションによる成膜の理解
- 成膜粒子の速度測定手法
- 粒子のひずみエネルギーに基づいた成膜の解析
- AD法による結晶配向膜の形成
- 成膜体の特性と用途展開
- 粒子配向チタン酸ビスマスAD膜の物性
- AD法による低発塵性部材
- プラスチックへのAD法の適用
- ADアルミナ硬質膜のローラへの適用
- AD膜の耐環境保護膜としての適用の可能性
- 質疑応答
受講料
- 1名様: 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 複数名: 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
複数名同時受講割引について
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
- 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
- 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 180,000円(税別) / 198,000円(税込)
- 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 210,000円(税別) / 231,000円(税込)
- 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 請求書は、代表者にご送付いたします。
- 他の割引は併用できません。
アカデミック割引
- 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
- 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
- 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
- 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
- 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
- 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
- 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。
ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー
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- 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
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