本セミナーでは、ウェットエッチング加工の結晶異方性、表面粗さや具体的な形状作製、高機能化について詳解いたします。
日時
- 2026年1月6日 10時30分〜 2026年1月16日 16時30分
中止
プログラム
本セミナーでは、従来から広く用いられてきたウェットエッチング加工 (特に 結晶異方性エッチング) について、基礎的な内容 (結晶異方性、表面粗さ) を 説明するとともに、具体的な形状作製、エッチング加工の高機能化について 解説する。
- 結晶異方性エッチングにおける基本特性
- エッチング速度の結晶方位依存性
- エッチング液濃度および温度依存性
- 結晶異方性エッチングモデル
- 表面粗さの結晶方位依存性
- エッチング液種の違い (KOHとTMAHの違い)
- 結晶異方性エッチングにおける注意事項
- エッチピット発生メカニズムとその対策
- マイクロピラミッド発生メカニズムとその対策
- 液中不純物の影響
- エッチング特性対する添加物の影響
- 金属イオンの影響
- 界面活性剤の影響
- エッチング加工の高機能化
- アンダーカット現象のメカニズムとその対策
- 多層マスクによるエッチング形状の多面体化
- エッチング加工の高速化
- 異方性エッチングによるスキャロッピングの選択的除去
- 質疑応答
受講料
- 1名様: 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 複数名: 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
複数名同時受講割引について
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
- 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
- 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 180,000円(税別) / 198,000円(税込)
- 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 210,000円(税別) / 231,000円(税込)
- 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 請求書は、代表者にご送付いたします。
- 他の割引は併用できません。
アカデミック割引
- 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
- 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
- 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
- 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
- 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
- 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
- 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。
アーカイブ配信セミナー
- 当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
- 配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。
- 視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。
- 視聴期間は2026年1月6日〜16日を予定しております。
ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。 - セミナー資料は別途、送付いたします。