PFAS (有機フッ素化合物) 規制の動向と半導体産業への影響

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本セミナーでは、半導体デバイスの製造に欠かせない有機フッ素化合物 (PFAS) について取り上げ、PFASに関連する規制、現在の対応状況、今後の展開について詳解いたします。
また、半導体の技術、市場のトレンドとPFAS規制の関係、PFAS処理と代替材料の動向についても解説いたします。

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プログラム

一般のニュースでもしばしば取り上げられるようになったPFASですが、その規制はますます厳しさを増しています。PFASとは1万種類を超える有機フッ素化合物の総称で、その特性を利用して様々な分野で利用されています。しかし一部のPFASに有害性が確認され、その規制範囲は広がっています。半導体製造においても様々な工程で使用されており、規制動向が注視されています。  本セミナーではPFASの基礎知識、内外の規制動向を解説し、PFASが用いられている半導体製造工程についてその内容とPFASが用いられている理由、代替技術の開発状況などを解説します。

  1. PFASとは
    1. PFAS関連のニュース
    2. PFASの種類と性質
    3. PFASの用途
  2. PFAS規制の動向
    1. POPs条約
    2. 日本の規制動向
    3. 欧州の規制動向
    4. 米国の規制動向
  3. 半導体製造におけるPFAS使用工程 (前工程)
    1. 半導体製造方法 (前工程) の基礎
    2. リソグラフィー
    3. ウエットエッチング
    4. ドライエッチング
    5. 配管材料等
  4. 半導体製造におけるPFAS使用工程 (後工程)
    1. 半導体製造方法 (前工程) の基礎
    2. テープ・フィルム類
    3. モールド材
    4. 基板層間膜
  5. PFAS処理と代替材料の動向
    1. 製品ライフサイクルと人体・環境への影響
    2. 廃液処理の現状
    3. PFASの分析方法
    4. 代替材料開発動向
    5. 装置・材料メーカー、デバイスメーカーの対応状況
  6. まとめ
  7. 質疑応答

受講料

複数名受講割引

アカデミー割引

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