走査電子顕微鏡 (SEM) の基礎と最適な観察条件の設定方法および像障害の回避法

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本セミナーでは、SEMを用いた解析を正しく実施するために、試料の特性や観察目的に応じた、観察条件の設定方法や試料前処理について解説いたします。

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プログラム

SEMは1965年に製品化されてから性能・機能および操作性が飛躍的に向上した。また、近年では自動機能も充実しており、SEMの初心者でもストレスなく操作ができることから、多くのユーザーが研究開発や品質管理のツールとして利用している。しかし、多くのユーザーは、観察目的に応じて観察条件を変更する作業を実施していないのが現状である。  今回は、最終的にSEMを用いた解析を正しく実施するために、試料の特性や観察目的に応じた、観察条件の設定方法や試料前処理について解説する。

  1. 走査電子顕微鏡の基礎
    1. SEMの歴史
    2. SEMの原理と構成
    3. SEMの基本操作
    4. SEM観察条件の設定
  2. 低加速電圧観察法
    1. 低加速電圧観察のメリット、デメリット
    2. 低加速電圧観察の高分解能化
    3. 低加速電圧による解析例の紹介
  3. 低真空SEM観察
    1. 低真空SEMとは
    2. 低真空SEM観察のメリットと観察例
    3. クールステージによる食品の観察
  4. 断面試料作製法
    1. 簡便な断面試料作製法の紹介
    2. BIB (Brode Ion Beam) を用いた断面試料作製
    3. BIB加工試料のSEM観察例の紹介
  5. 像障害の回避法
    1. 帯電現象 (チャージアップ現象) の原因とその回避法
    2. コンタミネーションの原因とその回避法
  6. 今後の展望

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