クリーンルームにおけるゴミ・異物対策および静電気対策の基礎と実践

クリーンルームは管理無ければ只の箱、と言われます。その管理の基本『クリーン化の四原則』を明確にし、対象となるエリア『加工点』『保管場所』『搬送系』の3点を対象に、清掃を含めて、いかに効率的にかつ効果的な管理を行うのかを、いくつかあるクリーンルームの形態毎に、不良につながる可能性状態を動画や写真でご紹介し、効果的な管理につながる手法を明らかにして行きます。

• 「クリーンルーム環境で製造をしていても、異物不良が発生して困っています。」
• 「クリーン度の数値は規格内にあり問題ないのに、異物不良が多発して悩んでいます。」

　こうした声を多く聞く様になりました。これは、自工程で不良につながる粒子径や様態を確実に掴んでいないこと。また、パーティクルカウンターに頼った微粒子管理を優先していることが、要因として考えられます。5〜10〜100μmと言った『粗大粒子』にも着目し、ゴミ・異物の見える化手法やパーティクルカウンターでは、計測し難い粒径や様態の検出手法、数値管理方法を述べて参ります。 　また、ゴミ・異物管理〜対策において避けて通れない『静電気』にも目を向けて管理手法・対策手法を明らかにして参ります。 　現場に戻り即役立つ情報・技術・管理手法等を分かりやすく解説致します。ご質問や疑問点があるときは、質疑応答時間若しくは 終了後メールにてお寄せください。多くのご質問をお待ちしております。一緒に考えて解決して行きましょう。

1. クリーンルームにおけるゴミ・異物対策の基礎知識
   1. なぜクリーン化が求められるのでしょうか?
   2. クリーンルームの導入効果とは?
   3. 加速するクリーン化の要求
   4. ものづくり環境はどうあるべきなのか? : 良い清浄環境とは?良い製造環境とは?
   5. クリーンルームの目的とは
   6. クリーンルームの活用事例
   7. クリーンルームの分類
   8. クリーンルームのはじまり〜歴史
   9. クリーンルームの定義
   10. クリーンルーム環境の留意点
   11. クリーンルームの方式と特徴
   12. 2つの清浄化メカニズム
   13. HEPA/ULPAフィルターとは
   14. エアーフィルターの捕集原理と捕集効率
   15. なぜクリーン化四原則なのか?
   16. クリーン度の表し方/クラス比較
   17. クリーンルームの日常管理、等
2. クリーンルームの清掃と見える化機器の活用管理
   1. クリーン化における清掃は技術として捉えよう
   2. この差ってなんですか?:掃除と清掃の違いって分かりますか?
   3. クリーンルームの清掃の目的と意義
   4. 3つの管理POINTと標準化:いつ?誰が?どうやって?
   5. 生産環境における清浄化対象箇所とは
   6. 清掃はいつやるのが良いのか?:始業時?終業時?昼休み前後?
   7. クリーン化の四原則における清掃の位置付け:除去/排除する
   8. 清浄化の重点箇所と留意点:加工点/保管場所/搬送系
   9. 見える化機器の活用法
   10. なぜ見える化が必要なのか?
   11. 気流の可視化も重要:浮遊異物は気流によって運ばれる
   12. クリーンルームの清掃方法
       1. 清掃作業員の適正化も大切
       2. 清掃方法の分類と方法:日常/定期/特別と言う捉え
       3. 清掃方法に関する留意事項:清掃し易い環境をつくる
       4. 清掃の手順はどうするのか?
       5. 清掃資材の汚れ状態も確認しよう
       6. 清掃用具類のあり方
       7. 清掃方法の効果と比較
       8. 静電気による粒子付着に対する清掃POINT
       9. 粘着マットの剥がし方にも注意を!等
3. 防塵衣の管理と身近な発塵源と発塵対策
   1. なぜ防塵衣を着るのでしょうか?
   2. 防塵衣の適正化に取組む各メーカー
   3. 人間の動作と発塵量
   4. クリーンルーム内のゴミ・異物の割合は?
   5. 皮膚からの発塵の抑制の考え方
   6. 防塵衣に求められる性能
   7. 織り込み導電繊維の効果って知ってますか?
   8. 防塵衣の性能を発揮するには?
   9. 防塵衣着用時の発塵機構を知ろう
   10. 動作発塵評価方法と評価事例ご紹介
   11. ポンピング発塵データご紹介
   12. 評価環境と機器類とは?
   13. 防塵衣クリーニングのあり方:専用クリーニングとは?
   14. 身近な発塵源と発塵対策:粗大粒子の捉え
       1. 身近な発塵源の状況可視化:動画でご紹介
       2. クリーンルーム内で使用する資材の評価と評価方法/データ
       3. 粗大粒子と言う捉え
       4. クリーンルームの中には、5μm以上の異物はないのでしょうか
       5. 自工程で不良につながる異物粒径を知ろう
       6. 粗大粒子による影響が大きい現実
       7. 粗大粒子が原因となった不良事例ご紹介
       8. JISによる粒子の分類と定義
       9. 微粒子と粗大粒子の挙動/振る舞いの違いとは?
       10. 気中パーティクルカウンターの特性
       11. パーティクルカウンターの吸引量による違いを知ろう
       12. ゴミ・異物の大きさと挙動の認識 (鉄1kgと綿1kgどっちが重い?)
       13. 粗大粒子対策は換気回数を上げても、減少しない
       14. 粗大粒子は見える化出来る!
       15. 粗大粒子の見える化から数値化/数値管理法
       16. ISO-14644シリーズ規格
       17. ISO-14644-9表面清浄度規格:SCP規格
       18. ISO準拠 粗大粒子測定器:落下塵カウンターの概要、等
4. クリーン化・異物対策における静電気対策の基礎と実践
   1. クリーン化において、なぜ静電気に注力しなければいけないのか?
   2. 電気とは… (動電気/静電気)
   3. 静電気の基本 (静電気の発生と静電気要因不良)
   4. 静電気対策方法:考え方
   5. イオナイザーの種類と特性:選択ミスは不良につながる
      ※選択ミスは、なぜ製品のダメージにつながるのか?
   6. 除電のメカニズム
   7. イオナイザー使用時の注意点
   8. 作業環境 (湿度) と静電気の発生
   9. 静電気対策は、費用が掛かる?
   10. 静電気対策事例:良い事例/悪い事例:対策方法事例紹介
   11. 後戻りしない対策のあり方、具体的ポイント、まとめ
• 質疑応答