PFAS規制の動向と半導体業界への影響、対応状況、今後の方向性

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本セミナーでは、半導体デバイスの製造に欠かせない有機フッ素化合物 (PFAS) について取り上げ、EUの規制案の検討状況を中心に海外・国内のPFAS規制の最新動向、現在の対応状況、代替の可能性、今後の展開について詳解いたします。

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プログラム

PFASについてはニュースでもしばしば取り上げられるようになり、一般の関心も高くなっている。POPs条約で規定されている一部の有害なPFASについては日本国内では化学物質審査規制法 (化審法)により規制されている。一方、EUではREACH規則による全面的な使用制限が検討されており、今後の動向に注目が集まっている。  本講ではPFAS規制の海外国内の動向、特にEUの包括規制案の動向について解説する。また、PFASは様々な用途に用いられ、半導体製造工程でもその応用は多岐にわたっている。PFASが用いられていると考えられる工程の内容とその代替可能性、排水処理方法の現状等について解説する。

  1. PFASとは?
    1. PFASの定義
    2. 国内・海外のPFAS関連ニュース
    3. 製品ライフサイクルとPFASの人体・環境への影響
  2. PFAS規制の動向
    1. ストックホルム条約
    2. 国内の規制
      • 化学物質審査規制法 (化審法)
      • 水道法
    3. 欧州の規制
      • REACHの包括規制案の状況
    4. 米国の規制
  3. PFASの分析技術・処理技術
    1. 分析方法
      • LC-MS/MS
      • GC-MS/MS
    2. 総量分析
    3. 焼却処理
    4. その他の処理方法
  4. 半導体産業への影響
    1. 半導体とは?
    2. 半導体製造プロセス
    3. 3Mショック
    4. PFAS使用工程
    5. ドライエッチング〜チラーの冷媒、エッチングガス
    6. リソグラフィー
      • フォトレジスト・反射防止膜・現像液・現像リンス液の添加剤
      • 光酸発生剤 (PAG)
      • ペリクル
    7. ウエットエッチング〜エッチング液の添加剤
    8. 超純水配管
    9. 後工程部材
      • モールド材
      • DAF
      • パッケージ基板材料
    10. 半導体工場の排水・廃液処理システム
    11. 排水管理基準
    12. 半導体材料・部材メーカーの対応状況
    13. 半導体企業の対応状況

受講料

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