新しい大気圧プラズマ源の開発と応用展開

大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず,また高密度な活性種を生成できるため,産業応用には大変多くのメリットがあります。このため,ここ数年,材料表面の親水化処理,接着性の向上,クリーニング等の分野で急速に利用され始めています。学術的にも,IEEEの国際会議では2005年には1%以下だった大気圧プラズマの発表件数が,2012年には25%を越すまでに激増しています。しかし,大気圧プラズマの発生や利用法についてはブラックボックスな部分が多いため,産業応用へのしきいが高いのも事実です。 　そこで本講演では,大気圧プラズマの物理をわかりやすく解説するとともに,最新の大気圧プラズマ生成法と表面処理,殺菌,環境浄化等への最先端の応用例をご紹介ます。さらに,講師の最新の研究テーマである,ダメージフリープラズマ,マルチガスプラズマ,温度制御プラズマなどの開発およびこれらを用いた,高速表面クリーニング,超高速酸化膜還元,リアルタイムガス分解などにスポットをあてて研究成果をご紹介します。

1. 大気圧プラズマの基礎
   1. なぜ大気圧プラズマ?
   2. プラズマとは
   3. プラズマの特長
   4. 大気圧プラズマの生成法
   5. プラズマ中の原子・分子過程
   6. プラズマの物理
   7. 大気圧プラズマの計測法
2. 大気圧マイクロプラズマ
   1. プラズマを生成しやすい気圧とサイズ
   2. マイクロプラズマの特徴
   3. 大気圧マイクロプラズマの生成法
3. 新しい大気圧プラズマのコンセプトと装置
   1. 大気圧プラズマの分類
   2. リモートプラズマ
   3. ダメージフリープラズマ
   4. マルチガスプラズマ
   5. 温度制御プラズマ
4. 大気圧プラズマの応用例
   1. 表面処理への応用
   2. 殺菌・医療・バイオ分野への応用
   3. プロセシング・新材料創成への応用
   4. 環境浄化への応用
   5. 微量元素分析への応用
5. 大気圧プラズマの有効な利用法と近未来展望

• 質疑応答・名刺交換