本セミナーでは、LSIや実装分野で用いられる感光性材料の基礎から応用、最新動向までを体系的に解説いたします。
また、高感度・高解像度化を目指す材料開発の要点や注意点を実例とともに解説いたします。
日時
- 2025年9月26日 13時00分〜 2025年9月26日 16時00分
開催予定
プログラム
LSIや実装工程では、数多くの感光性材料が用いられている。それら感光性材料について、用いられているパターン形成手法、感光性材料の種類、感光性材料の開発における留意点について述べる。 感光性材料が用いられる意義を理解し、開発している人が陥りやすい勘違いや注意点をまとめる。また、感度および解像度向上を目指すときに考えるべき課題を述べる。感光性材料の開発事例を紹介し、感度や解像度向上の感光性材料開発で直面する課題を考える参考になるようにする。最後にLSI用レジストと実装用感光性ポリイミドの特許を参考に、感光性材料の動向を考察する。
- はじめに
- 感光性材料の種類
- 感光性材料開発に必要な基礎知識と設計の留意点
- 光を用いる理由
- 露光装置と光吸収
- 光吸収と光化学反応、Lambert-Beer則
- 感光性材料内での反応 (固体内反応)
- 現像プロセスの重要性
- 感度測定留意点
- 解像性を決める要因
- 最新の動向
- LSI用レジストの動向 〜EUVレジストを中心に〜
- 化学増幅系
- 無機レジスト
- ドライレジスト
- その他
- 実装用・再配線用の感光性材料 〜感光性ポリイミドを中心に〜
- LSI用レジストの動向 〜EUVレジストを中心に〜
- 質疑応答
受講料
- 1名様: 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 複数名: 22,500円(税別) / 24,750円(税込)
案内割引・複数名同時申込割引について
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「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 42,000円(税別) / 46,200円(税込) で受講いただけます。
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- R&D支援センターからの案内を希望する方
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,000円(税別) / 46,200円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
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- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
ライブ配信セミナーについて
- 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
- お申し込み前に、 Zoomのシステム要件 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
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