シリコン半導体集積回路素子、化合物半導体機能素子、フラットパネルディスプレイ、固体撮像素子や発光ダイオードなどの電子デバイスによって私たちの生活は飛躍的に豊かになりました。これらの電子デバイスは真空技術を利用した薄膜形成技術によって製造されています。昨今、リスクマネジメントの観点から、これらの電子デバイスの製造を国内回帰する動きが強まっていて、改めて真空と薄膜形成に関する技術への期待が強まっています。
今回、この需要に応えるため電子デバイスの製造技術に使用されている「真空技術の基礎」および「薄膜形成技術の基礎」に関して解説します。特に真空蒸着、スパッタリング、CVD、ALDによる薄膜形成技術 (成膜技術) および薄膜を微細加工するドライエッチング技術の基礎を解説します。合わせて、これらの技術で使用する真空下のプロセスプラズマの基礎も解説します。
- はじめに
- 電子デバイスを構成する薄膜技術:なぜ薄膜が必要なのか?
- 薄膜とは? 薄膜形成と真空技術 (ドライプロセス)
- 真空技術の特徴と用途
- ノーベル賞と真空技術
- 真空技術の基本
- 圧力とは? 真空の程度を表す指標である圧力 大気圧は変動する
- 真空の分類
- 真空下での気体の挙動と特徴
- 平均自由行程と粘性流・分子流
- 超高真空の必要性と分子の入射頻度
- ガス流量を考える:安定したガス流用制御技術
- 真空技術の電子産業応用
- 純度を確保するためのガス配管管理:サイクリックパージ
- 真空充填技術:液晶注入
- 清浄表面の確保と真空:クラスター装置の設計指針
- 成膜時の膜純度確保と真空:到達圧力の影響
- CVD原料の蒸発速度と飽和蒸気圧
- 低温プラズマプロセスを実現する真空
- 低蒸気圧の化学物質を取り扱う真空装置の設計
- 真空を作る・測る
- 真空容器
- 真空ポンプ
- 真空計
- 真空部品
- 真空システム
- 薄膜形成技術および薄膜加工技術
- 薄膜形成技術1 PVD 蒸着
- 薄膜形成技術2 PVD スパッタリング
- スパッタとは? スパッタ装置の構造
- 薄膜製造に使用されている理由:なぜ密着性の良い薄膜が得られるのか?
- プロセスプラズマの基礎
- 絶縁膜に使用する高周波スパッタリング:セルフバイアスの発生メカニズム
- プレーナマグネトロンスパッタ技術
- バイアススパッタ技術
- リアクティブスパッタ技術
- スパッタ・リフローおよびフロースパッタ
- PVDシステム構築のポイント
- 薄膜形成技術3 CVD・ALD
- CVDの特徴と必要性:CVDを選択するときの理由
- 化学反応速度論の基礎:表面反応の確認手法
- CVDのプロセス解析:アレニウスプロット
- CVDプロセスウインドウの設計
- 良好なカバレッジや結晶特性を得るためには
- CVD装置の設計:クラウジウス-クラペイロンプロット
- 励起状態を経由するCVD技術 (プラズマ支援CVD)
- ALD技術
- CVD・ALDシステム構築のポイント
- 薄膜加工技術 ドライエッチング
- 反応性イオンエッチング (RIE) の必要性:微細加工特性
- 種々のエッチング装置
- ドライエッチングの終点モニタ
- スパッタエッチングの特性と必要性
- ドライエッチングシステム構築のポイント
- まとめ
複数名受講割引
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,200円(税別) / 42,020円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
- 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 請求書は、代表者にご送付いたします。
- 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
- 他の割引は併用できません。
- サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。
アカデミー割引
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
- 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
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- お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。
ライブ配信セミナーについて
- 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
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- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
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ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
印刷物は後日お手元に届くことになります。
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