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表面・界面の考え方と分析の基礎、および実践応用テクニック、ノウハウ

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本セミナーでは、表面、界面の基礎から、分析評価を中心にして、その姿を明らかにして利用するためのアプローチについて、技術的テクニック、コツやノウハウから、考え方、アプローチに方法まで応用アプリケーションの事例を交えて解説いたします。

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プログラム

表面、界面はあらゆる技術や製品の基盤となるものであり、現在扱われる材料やプロセス、技術、商品で表面や界面が関与していないものは無いと言っても過言ではありません。これは言い方を変えると、現代は表面、界面に支配されているとも言えます。そのため、分析手法一つにしても多種多様なものが開発され、利用されています。しかし、一方で表面や界面はまだ未解明な部分も多く、多様な分析方法の選択・活用、そして、表面・界面の姿を明らかにすることは容易ではありません。 　本講では、表面、界面の基礎から、表面分析評価を中心にして、その姿を明らかにして利用するためのアプローチについて、技術的テクニック、コツやノウハウから、考え方、実践まで事例を交えて解説します。

  1. 表面に支配される現代社会
    • イントロダクションとして様々な製品や技術と表面、海面の関係について整理します。
      • 膜・界面、そして、現代技術を支配する表面
      • 表面・界面の重要性
  2. 表面とは
    • 表面という言葉の定義 (どこまでの領域なのか) など実は日常的に取り扱っていながら良く理解できていない表面について改めて解説します。
      1. 表面 (薄膜) とは?
      2. 表面のかかわる代表的事象
      3. 表面の要素
      4. 表面における現象
      5. 代表的な表面処理 など
  3. 界面とは
    • 表面と同様に改めてその定義や成り立ちを含めて解説します。
      1. 界面における現象
      2. 多層膜による界面形成
      3. 薄膜化による界面の変化 など
  4. 表面・界面を支配するもの
    • 表面・界面を知るのはこれを制御するためであることから、表面・界面を決定づける要素、要因について解説します。
      1. 界面形成
      2. 界面形成を支配する接着
      3. 界面を形成する力
      4. 表面・界面形成を支配するもの
      5. 表面・界面形成因子と評価法
      6. 表面を支配するには など
  5. 表面分析成功のキーポイント
    • 表面・界面を知るために欠かすことができない表面分析を正しく行うための注意点、ポイント、ノウハウを解説します。
  6. サンプルの取り扱い
    • 特に慎重な取り扱いが要求される表面・界面分析用試料の取り扱いにおける注意点、ポイント、ノウハウを解説します。
  7. 代表的表面分析手法
    • 数多くある表面分析手法について、個々にその原理、特徴、分析・解析のポイントなどに解説します。
  8. 表面分析の分類
    • 多種多様な表面・界面分析手法について、その特徴や用途などによって分類すると共に、手法選択の考え方について解説します。
      1. 表面分析に用いる主な手法と選び方
      2. 表面・微小部の代表的分析手法
      3. 手法の選択 など
  9. 接触角測定法
    • 実は複数ある接触角測定法について解説します。
  10. X線光電子分光法 (XPS, ESCA)
    • XPSの原理、特徴から測定、解析の考え方、ポイントなどについて解説します。
      1. XPSの原理・特徴
      2. XPSの検出深さ
      3. ワイドスキャンとナロースキャン
      4. 元素同定
      5. 化学状態の同定
      6. 角度変化測定による深さ方向分析
      7. チャージアップの影響と対応
      8. 深さ方向分析
      9. ちょっと便利なサイトやソフト
      10. ハイブリッド分析
  11. オージェ電子分光法 (AES)
    • AESの原理、特徴から測定、解析の考え方、ポイントなどについて解説します。
      1. AESの原理
      2. AES測定例
      3. 界面拡散の分析
      4. AESによる状態分析例
      5. チャージアップ抑制
      6. 化学状態マッピング
      7. XPSとAESの手法の比較
  12. X線マイクロアナライザ (EPMA)
    • EPMAの原理、特徴から測定、解析の考え方、ポイントなどについて解説します。
      1. EPMAの原理
      2. 元素分布分析 (被着体金属基板の断面)
      3. 積層膜の分析例
  13. 二次イオン質量分析法 (SIMS)
    • SIMSの原理、特徴から測定、解析の考え方、ポイントなどについて解説します。
      1. SIMSの原理
      2. D-SIMS測定例と特徴
      3. TOF-SIMSの原理
      4. TOF-SIMSによる化学構造解析
  14. フーリエ変換赤外分光法 (FT-IR)
    • FTIRの原理、特徴から測定、解析の考え方、ポイントなどについて解説します。
      1. 赤外分光法 (IR) の原理
      2. FT-IRの長所・短所
      3. 測定法
      4. 主な吸収帯
      5. 指紋領域の利用
      6. 系統解析
      7. 帰属の考え方
      8. 全反射法 (ATR法)
      9. ATR法における注意点
      10. In-situ FT-IR
  15. グロー放電分析 (GD)
    • GDの原理、特徴などについて解説します。
  16. 形態を知る
  17. SEM、TEM
    • SEM、TEMの原理、特徴から測定例などについて解説します。
      1. 表面形状と組成
      2. SEM-EDS組成分析
      3. SEM観察例
      4. 試料作製法の比較
  18. 走査型プローブ顕微鏡 (SPM)
    • SPMの原理、特徴から測定例などについて解説します。
      1. SPMとは
      2. 主な走査型プローブ顕微鏡
      3. 観察例
      4. 位相イメージングの例
      5. 位相像
  19. 界面分析
    • 実は非常に奥が深く、難易度が高い、しかし、安易に行われている界面分析の真の理解を得るためにその基本からテクニックまで実践ノウハウを解説します。
  20. 界面評価の重要性と課題
    • 実例を交えながら、適切に界面分析を行い、正しいデータを得るための方法について解説します。
      1. 界面の分類
      2. 界面分析における課題
      3. 界面分析の重要性
      4. 一般的深さ方向分析と問題点
      5. SIMS分析例
      6. 新しいアプローチ
  21. 解析の実例
    • 実際の解析例を用いて、表面分析、界面分析の実務について解説します。
      1. UV照射による化学構造の評価
      2. 表面構造変化の解析 (XPS)
      3. 気相化学修飾法
      4. 化学修飾法を用いたTOFイメージング
      5. ポリイミドの表面処理層の深さ方向分析
      6. PI/Cu/Si界面の解析
  22. まとめと質疑

受講料

  • 1名様: 38,200円(税別) / 42,020円(税込)
  • 複数名: 25,000円(税別) / 27,500円(税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,200円(税別) / 42,020円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 Zoomのシステム要件 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
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