プラズマを用いたプロセス技術は、現代社会を支える半導体デバイスや機械・電気部品の製造現場で広く利用され、近年では医療や農水産などのバイオ応用についても研究されています。気体の放電現象を利用するプラズマは、その内部において物理・化学的な作用をもたらす数多くの中性活性粒子や荷電粒子が生成され、存在しています。それら粒子の相互的な反応により高度なプラズマプロセスが実現されることから、本技術の継続的な発展や新たな革新にはそれら粒子の計測・モニタリングを通じた反応メカニズムの理解とその最適化が必要です。
そこで本講座では、まずプラズマ内における活性粒子の生成・消滅に関わる反応過程など基礎的な理解も深めて頂きながら、それら粒子の分析に利用される各種計測法の原理と具体的な実施例について説明させて頂きます。以上を通じて、プラズマプロセス内の活性粒子の計測とモニタリングを通じた反応メカニズムの理解、さらには得られた知識を基にしたプロセス条件の最適化を検討して頂く契機となることを期待します。
- プラズマの特性と活性粒子の反応
- プラズマの基礎特性
- 活性粒子の生成過程
- 活性粒子の気相反応
- 活性粒子の表面反応
- 荷電粒子の各種計測技術の原理と特徴
- プローブ計測法
- 干渉計測法
- 発光・散乱分光法
- 質量分析法
- 中性活性粒子の各種計測技術の原理と特徴
- 発光分光法
- 吸収分光法
- 蛍光分光法
- 質量分析法
- 活性粒子の計測・モニタリングによるプロセスの最適化と制御
- プラズマエッチングプロセス
- プラズマ化学気相堆積プロセス
- 大気圧プラズマプロセス
- プラズマバイオ応用プロセス
- まとめ
複数名同時受講割引について
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。
- 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 80,000円(税別) / 88,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 120,000円(税別) / 132,000円(税込)
- 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 160,000円(税別) / 176,000円(税込)
- 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 190,000円(税別) / 209,000円(税込)
- 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 請求書は、代表者にご送付いたします。
- 他の割引は併用できません。
アカデミック割引
- 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
- 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
- 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
- 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
- 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
- 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
- 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。
アーカイブ配信セミナー
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