クリーンルームの基礎と作業員・清潔度維持管理のポイント

クリーン化技術に携わる、初級から中級までの全ての方々を対象に、中級入口までの内容を、平易な言葉で説明します。 　クリーンルームの正しい知識を身に着け、クリーンルーム清浄度維持・運用に役立てていただきたい。この講演ではクリーンルームの基礎と汚染物質の性質と測定方法及び清浄度維持・管理の要点を、理論のほか実験・実測・経験に基づいた内容で説明します。専門用語は進行に伴って自然に吸収できるようにします。

1. クリーンルームの基礎
   1. 清浄度とは何か?
      1. 清浄度の説明
      2. 空気清浄度の規格
      3. 空気清浄度基準の対比
      4. 用途別クリーンルームの清浄度
   2. クリーンルームの種類・形状・変遷
      1. クリーンルームの分類
      2. クリーンルームの方式
      3. クリーンルームの変遷
2. クリーンルーム内の汚染物質
   • クリーンルーム内の汚染物質とは (制御対象の変遷) ・エアロゾルの粒径
   1. 塵埃の性質
      1. 気流との関係、拡散状況について
   2. 人、物からの発塵
      1. 人、物それぞれからの発塵要素
   3. 塵埃の測定方法
      1. クリーンルームに対する性能評価試験 (性能確認と実施時期)
      2. 清浄度の評価方法
      3. 測定器具
   4. ケミカル汚染物質と測定方法
      1. 汚染物質の把握と対策
      2. 悪影響の例
      3. 捕集方法と分析方法の組合せ
   5. 菌類の測定方法
      1. 環境清浄度の測定法
      2. 最大許容粒子数及び微生物数
   6. 汚染物質をどう取り除くのか
      1. フィルタの種類
      2. 汚染対策の要点
3. クリーンルーム内の作業員管理と教育
   1. 作業員の管理と教育
      1. 作業者意識と規律と行動
      2. クリーンルームの4原則
      3. 作業者への教育、訓練項目
      4. クリーンルーム作業者からの発塵機構
   2. クリーンスーツの維持管理
      1. 必要とされる性能
      2. クリーンスーツの劣化と維持管理
      3. クリーン手袋の着装について
   3. エアシャワー
      1. エアシャワーの使用目的
      2. エアシャワーの効果
   4. 実際のクリーンルーム教育資料 (抜粋)
      1. クリーンルーム内作業スタイルの例
      2. 資材の搬入方法、クリーンルーム内禁止作業、持込禁止品
4. クリーンルームの維持管理
   1. 清掃の種類と方法
      1. 清掃の種類と基本
      2. 清掃方法
      3. 清掃方法の具体例と注意点
   2. 管理項目とその測定・評価方法
      1. 日常的なモニタリング
      2. 環境モニタリング項目とISOとの関係
      3. リニューアルに伴う環境モニタリング
   3. 設備の管理
      1. 製造設備、関連設備の管理
      2. 空調設備の点検
5. クリーンルームにおけるトラブル事例とその対策
   1. トラブル要因分析 (例)
   2. トラブル事例と具体例及び対策
• 質疑応答