多結晶半導体薄膜の基礎と応用技術

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本セミナーでは、半導体薄膜の結晶成長に関する基本原理から、主に講演者の開発してきた先端技術、さらにAIによるプロセス最適化とデバイス応用まで、幅広い内容を解説いたします。

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本講座では、半導体薄膜の結晶成長に関する基本原理から、主に講演者の開発してきた先端技術、さらにAIによるプロセス最適化とデバイス応用まで、幅広い内容を解説いたします。従来技術の進化と新たな応用可能性を背景に、材料の特性解析や成長制御の革新的手法を学び、産業界における実践的な技術習得を目指します。参加者の皆様には、理論と実務の両面から技術の核心に迫り、次世代半導体デバイスの開発や新規応用への展望を広げる貴重な知見を提供することを狙いとしています。

  1. 多結晶半導体薄膜の基礎
    1. 半導体薄膜の実用例
    2. 多結晶構造の特徴と利点
    3. 成膜プロセスの概要
    4. 結晶成長機構の理解
    5. 多結晶半導体薄膜の評価技術
  2. 多結晶半導体薄膜の先端技術
    1. 固相成長機構の制御
    2. 金属触媒の援用
    3. デバイス応用
  3. 多結晶半導体薄膜の先端技術
    1. 画像解析と物性抽出
    2. プロセス最適化手法
  4. 講演のまとめ
    1. 全体の総括と今後の展望
    2. 質疑応答

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