本セミナーでは、高分子フィルム上への金属・無機薄膜形成の事例を中心とした、薄膜密着性の向上・剥離防止手法を解説いたします。
また、密着性の定量評価手法と実用薄膜材料での事例を基に、密着性の要因解析、剥離の最大要因である内部熱応力の計測手法まで、「薄膜の密着性」について、幅広い視点で解説いたします。
～プラスチックフィルム基材への薄膜形成の例を中心に～
(2012年10月31日 10:30〜14:00)
機能性薄膜を形成する上で、薄膜と基材の密着性は重要な因子の一つです。これら機能性薄膜形成においては薄膜自身の特性のみならず、薄膜と基材の界面の特性も機能性に影響を与えます。 本講座ではプラスチックフィルム基板を用いて気相反応を利用した薄膜形成技術を中心に、薄膜とプラスチックフィルムの密着性に影響を与える表面改質技術、および薄膜の力学特性、さらには機能発現のための成膜技術について解説いたします。
(2012年10月31日 14:10〜16:30)
高機能を持たせる材料の薄膜化プロセスの技術領域の課題においては、薄膜の剥離・密着性や内部応力評価の重要性が増す一方で、薄膜密着性の本質、計測手法は正確に理解されず、ミクロ観点からマクロな効果につなぐような解釈ができないのが現状である。 本講座は、薄膜密着性と剥離の最大要因である熱応力の評価について、基礎からこれら物性値の真意を明らかにし、最先端の定量計測技術までしっかり解説する。 さらに、薄膜密着性評価だけではなく、要因解析など、話題の最新実用薄膜材料の応用例を紹介する。