第1部 半導体デバイス製造工程の物理的ウエット洗浄技術
(2025年7月9日 10:30〜12:00)
近年、半導体デバイスの進化はすさまじいものがあります。このセミナーは半導体デバイスの物理的洗浄に関して説明を行います。セミナーでは、半導体デバイスの製造プロセスで使われている物理的洗浄について原理から丁寧説明します。基礎的なことからお話しますので、半導体デバイス洗浄に関わる数年の方や半導体デバイス洗浄にビジネスをお探しの方に最適かと思います。 講義後、質疑応答の時間以外にもメールにてご質問にもお答え致します。
- 半導体デバイス製造プロセスにおける物理的洗浄の必要性
- 化学的洗浄 (RCA洗浄) の基礎
- 物理的洗浄の必要性
- パーティクルのカウント方法
- 物理洗浄に求められるもの
- 物理的ウエット洗浄
- パーティクルの付着理論
- 水流を用いた洗浄原理
- 高圧スプレー洗浄
- 二流体スプレー洗浄
- メガソニック洗浄
- メガソニックスプレー
- 石英振動体型メガソニック洗浄方法
- ブラシ洗浄
- 次世代の物理的洗浄技術
- プロセスに合ったツールの使い分け
- 純水スプレー洗浄時の静電気障害
第2部 半導体の微細パーティクルを効率的に除去する超音波技術
(2025年7月9日 13:00〜14:30)
超音波洗浄機は非常に有効な洗浄ツールですが、環境による影響を受けやすいので、扱いがやや難しいというデメリットがあります。特に半導体洗浄では微細なパーティクルを効率良く除去する必要がありますので、環境についてはよりシビアに考える必要があります。
本講座では、超音波洗浄機の能力を最大限に生かすには、どのようなポイントに注意すればよいかという点を学んでいただけると考えています。
- 超音波洗浄とは
- 超音波の特徴
- 超音波洗浄の役割
- 超音波洗浄の種類と特徴
- バッチ洗浄用の超音波洗浄機
- 枚葉洗浄用の超音波洗浄機
- その他の超音波洗浄機
- 超音波洗浄機の仕組み
- 超音波洗浄のメカニズム
- キャビテーションとは
- キャビテーションの発生原理
- 超音波洗浄における条件
- 超音波の周波数と洗浄性
- 液の条件と洗浄性
- 理想的な条件
- 超音波洗浄の最新トレンド
第3部 先端半導体におけるプラズマプロセス技術
(2025年7月9日 14:45〜16:15)
先端半導体におけるパッケージ技術の動向とそこに適用されるプラズマ技術の紹介を致します。その中で元々は前工程で多く活用されてきたプラズマ技術が半導体後工程においても、どのような可能性があるのかを知って頂けたらと思います。
- 先端半導体パッケージングの動向
- 半導体パッケージ技術トレンドと市場動向
- プラズマクリーニング技術
- パッケージング工程における品質向上に向けた表面洗浄、改質の有用性紹介
- プラズマダイシング技術
- 3D化が進む半導体パッケージへのプラズマダイシング技術の有用性紹介
複数名同時受講割引について
- 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 50,000円(税別) / 55,000円(税込) で受講いただけます。
- 5名様以降は、1名あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 55,000円(税別) / 60,500円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)
- 4名様でお申し込みの場合 : 4名で 200,000円(税別) / 220,000円(税込)
- 5名様でお申し込みの場合 : 5名で 230,000円(税別) / 253,000円(税込)
- 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
- 請求書は、代表者にご送付いたします。
- 他の割引は併用できません。
アカデミック割引
- 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)
日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。
- 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
- 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
- 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
- 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
- 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
- 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。
ライブ配信セミナーについて
- 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
- お申し込み前に、 Zoomのシステム要件 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
- 開催日前に、接続先URL、ミーティングID、パスワードを別途ご連絡いたします。
- セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
- セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
- 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
印刷物は後日お手元に届くことになります。
- ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
- タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
- ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
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- Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
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